進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕，實現各項異性刻蝕，保證細小圖形轉移后的保真性。
1、小技巧、操作簡單、易維護。
2、引進德國核心等離子技術，質量有保障。3、進口針閥精密流量控制計，精度高。
4、材質耐腐蝕，環保不產生金屬污染。5、多路工藝反應氣體通道，保證產品清洗效果。
6、可以根據客戶需求定制。
型 號
JL-E30
等離子源系統
頻 率
13.56MHz 射頻
功 率
0~500W 可調
真空系統
真空腔體
材質
石英、航空鋁（選配）
腔體內部尺寸(MM)
400*200*400
腔體容積
30L
極板
1層
密封性
軍工級焊接密封
泵
真空泵
干泵
真空管路
不銹鋼管、不銹鋼波紋管
真空計
薄膜硅
氣體流量計
＜±1% FS
氣路控制
2路處理氣體氣路，氣體流量可調
極限真空
3Pa
適用氣體
流量范圍
0-500SCCM（可調）
工藝氣體
Ar、N?O?、H?等等（可選）
控制系統
1、PLC 自動控制；
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；
3、配方程序為 0~99；
4、多級權限操作；
5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息；
6、存儲工藝數據及錯誤信息；
7、報警信息提示及追溯；
8、圖形化界面檢測處理參數；
9、自動、手動操作可切換；
10、維護提示緊急停止按鈕；
11、門感應器和真空互鎖；
12、機器運行信號指示；
13、機器運行結束提示；
外觀參數
外形尺寸(MM)
640*1700*840 (寬高深）
重 量
280KG
設施配置
電 力
五線，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。
壓縮空氣
干燥壓縮空氣CDA。
其 它
提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單。
