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等離子去膠機(jī)

等離子去膠機(jī) 100L


1、小技巧、操作簡單、易維護(hù)。

2、引進(jìn)德國核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。

3、進(jìn)口針閥精密流量控制計，精度高。

4、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。

5、多路工藝反應(yīng)氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。

6、可以根據(jù)客戶需求定制。



  • 功能特點(diǎn)
  • 規(guī)格參數(shù)
  • 外形尺寸

    • 1、小技巧、操作簡單、易維護(hù)。

    2、引進(jìn)德國核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。

    3、進(jìn)口針閥精密流量控制計，精度高。

    4、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。

    5、多路工藝反應(yīng)氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。

    6、可以根據(jù)客戶需求定制。


    型  號

    JL-VM100

    等離子源系統(tǒng)

    頻  率

    13.56MHz 射頻

    功  率

    1000W可調(diào)

    真空系統(tǒng)

    真空腔體

    材質(zhì)

    航空鋁

    腔體內(nèi)部尺寸

    500*400*500mm（寬*深*高）

    托盤有效尺寸

    420*280mm

    物料托盤層數(shù)

    8層托盤、可拆卸式,層間距30mm

    腔體容積

    100L

    密封性

    軍工級焊接密封

    泵

    真空泵

    油泵/干泵

    真空管路

    不銹鋼管、不銹鋼波紋管

    真空計

    1*105~1*10-1Pa

    質(zhì)量流量計

    ＜±1% FS

    氣路控制

    標(biāo)配2路（可定制）

    真空度

    5Pa-30pa

    適用氣體

    流量范圍

    0-500SCCM（可調(diào)）

    工藝氣體

    Ar、N?、O?、H?等等（可選）

    外觀參數(shù)

    外形尺寸

    1000*900*1750mm（寬*深*高）

    重  量

    550kg

    設(shè)施配置

    電  力

    五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定