1、小技巧、操作簡(jiǎn)單、易維護(hù)。
2、引進(jìn)德國(guó)核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。
3、進(jìn)口針閥精密流量控制計(jì)，精度高。
4、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
5、多路工藝反應(yīng)氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。
6、可以根據(jù)客戶需求定制。
型 號(hào)
JL-RR8
等離子源系統(tǒng)
頻 率
13.56MHz 射頻
功 率
0~300W可調(diào)
真空系統(tǒng)
真空腔體
材質(zhì)
石 英
腔體內(nèi)部尺寸
Φ250 * Dept.260（直徑*深mm)
腔體容積
12 L
處理最大尺寸
8英寸
泵
真空泵
干泵
真空管路
不銹鋼管、不銹鋼波紋管
真空計(jì)
1×105~1×10-1Pa
質(zhì)量流量計(jì)
＜±1% FS
氣路控制
4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)
極限真空
5Pa
流量范圍
0-500SCCM（可調(diào)）
工藝氣體
Ar、CF4、N?、O?等等（可選）
控制系統(tǒng)
1、PLC 自動(dòng)控制；
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；
3、配方程序?yàn)?/span> 0~99；
4、多級(jí)權(quán)限操作；
5、圖形化曲線圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息；
6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息；
7、報(bào)警信息提示及追溯；
8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù)；
9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；
10、維護(hù)提示緊急停止按鈕；
11、門感應(yīng)器和真空互鎖；
12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示；
13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示；
外觀參數(shù)
外形尺寸(MM)
750*450*500(寬高深）
重 量
55KG
設(shè)施配置
電 力
單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。
壓縮空氣
無(wú)
其 它
提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè)，易損件備件清單.
質(zhì)保、售后服
務(wù)和技術(shù)支持
質(zhì) 保
一年免費(fèi)的維保和備件免費(fèi)更換
技術(shù)支持
接到設(shè)備故障通知1個(gè)小時(shí)內(nèi)提供遠(yuǎn)程技術(shù)支持，對(duì)遠(yuǎn)程無(wú)法定位解決的問(wèn)題，提供現(xiàn)場(chǎng)維修服務(wù)
培 訓(xùn)
設(shè)備正式試用前，提供完整、免費(fèi)的技術(shù)培訓(xùn)
