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對(duì)電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。
型 號(hào)
JL-RR12
等離子源系統(tǒng)
頻 率
13.56MHz 射頻
功 率
0~1000W可調(diào)
選 配
真空系統(tǒng)
真空腔體
材質(zhì)
316L不銹鋼、航空鋁（選配）
腔體內(nèi)部尺寸
360*800*650（寬*高*深(MM))
腔體容積
135L
處理最大尺寸
12英寸
密封性
軍工級(jí)焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）
真空管路
不銹鋼管、不銹鋼波紋管
真空計(jì)
1×105~1×10-1Pa
質(zhì)量流量計(jì)
＜±1% FS
氣路控制
2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)
極限真空
5Pa
適用氣體
流量范圍
0-500SCCM（可調(diào)）
工藝氣體
Ar、N?、O?、H?等等（可選）
控制系統(tǒng)
1、PLC 自動(dòng)控制；
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；
3、配方程序?yàn)?0~99；
4、多級(jí)權(quán)限操作；
5、圖形化曲線圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息；
6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息；
7、報(bào)警信息提示及追溯；
8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù)；
9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；
10、維護(hù)提示緊急停止按鈕；
11、門感應(yīng)器和真空互鎖；
12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示；
13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示；
外觀參數(shù)
外形尺寸(MM)
640*1700*840(寬高深）
重 量
280KG
設(shè)施配置
電 力
五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定
壓縮空氣
干燥壓縮空氣CDA
其 它
提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè)，易損件備件清單.
質(zhì)保、售后服
務(wù)和技術(shù)支持
質(zhì) 保
一年免費(fèi)的維保和備件免費(fèi)更換
技術(shù)支持
接到設(shè)備故障通知1個(gè)小時(shí)內(nèi)提供遠(yuǎn)程技術(shù)支持，對(duì)遠(yuǎn)程無法定位解決的問題，提供現(xiàn)場(chǎng)維修服務(wù)
培 訓(xùn)
設(shè)備正式試用前，提供完整、免費(fèi)的技術(shù)培訓(xùn)
