1、引進德國核心等離子技術，質量有保障。
2、進口針閥精密流量控制計，精度高。
3、316不銹鋼材質,耐腐蝕，環保不產生金屬污染。
4、多路工藝反應氣體通道，保證產品清洗效果。
5、可以根據客戶需求定制。
型 號
JL-VM30
等離子源系統
頻 率
13.56MHz 射頻
功 率
300W可調
真空系統
真空腔體
材質
航空鋁
腔體內部尺寸
400*300*300mm（寬*深*高）
托盤有效尺寸
320*180mm
物料托盤層數
4層托盤、可拆卸式
腔體容積
30L
密封性
軍工級焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵
真空管路
不銹鋼管、不銹鋼波紋管
真空計
1*105~1*10-1Pa
質量流量計
＜±1% FS
氣路控制
標配2路（可定制）
真空度
5Pa-30ppa
適用氣體
流量范圍
0-500SCCM（可調）
工藝氣體
Ar、N?、O?、H?等等（可選）
外觀參數
外形尺寸
640*750*1700mm （寬*深*高）
重 量
280kg
設施配置
電 力
五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定
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