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等離子去膠機

等離子去膠機 5L


1、小技巧、操作簡單、易維護。

2、引進德國核心等離子技術，質量有保障。

3、進口針閥精密流量控制計，精度高。

4、316不銹鋼材質,耐腐蝕，環保不產生金屬污染。

5、多路工藝反應氣體通道，保證產品清洗效果。

6、可以根據客戶需求定制。



  • 功能特點
  • 規格參數
  • 外形尺寸

    • 1、小技巧、操作簡單、易維護。

    2、引進德國核心等離子技術，質量有保障。

    3、進口針閥精密流量控制計，精度高。

    4、316不銹鋼材質,耐腐蝕，環保不產生金屬污染。

    5、多路工藝反應氣體通道，保證產品清洗效果。

    6、可以根據客戶需求定制。


    型   號

    JL-VM05

    等離子源系統

    頻   率

    13.65MHz 射頻

    功   率

    300W （連續可調，精度為1W）

    真空系統

    真空腔體

    材質

    石英

    腔體內部尺寸

    φ155*260mm（直徑*深度)

    腔體容積

    5 L

    密封性

    軍工級焊接密封

    泵

    真空泵

    油泵/干泵

    處理溫度

    ＜60°C

    流量計

    浮子流量計

    氣路控制

    2路處理氣體氣路，氣體流量可調

    真空度

    10Pa --100Pa

    工藝氣體

    Ar、N?、CF?、O?、H?等（可選）

    外觀參數

    外形尺寸

    650*480*420mm（寬*深*高）

    重      量

    55kg

    設施配置

    電      力

    單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。