1、小技巧、操作簡單、易維護。
2、引進德國核心等離子技術，質量有保障。
3、進口針閥精密流量控制計，精度高。
4、316不銹鋼材質,耐腐蝕，環保不產生金屬污染。
5、多路工藝反應氣體通道，保證產品清洗效果。
6、可以根據客戶需求定制。
型 號
JL-VMW60
等離子源系統
頻 率
13.56MHz 射頻
功 率
1000W可調
真空系統
真空腔體
材質
航空鋁
腔體內部尺寸
400*400*400mm（寬*深*高）
托盤有效尺寸
420*280mm（寬*深)
物料托盤層數
5層、可拆卸式
腔體容積
60L
密封性
軍工級焊接密封
泵
真空泵
干泵
真空管路
不銹鋼管、不銹鋼波紋管
真空計
1*105~1*10-1Pa
質量流量計
＜±1% FS
氣路控制
標配2路（可定制）
真空度
5Pa-30pa
適用氣體
流量范圍
0-500SCCM（可調）
工藝氣體
Ar、N?、O?、H?等等（可選）
外觀參數
外形尺寸
900*900*1700mm（寬*深*高）
重 量
550kg
設施配置
電 力
五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定
