PTFE(聚四氟乙烯/特氟龍/鐵氟龍)等離子蝕刻機

產品型號 JL-VM200
產品類別 定制等離子表面處理設備
應用范圍 PTFE材料表面清洗、刻蝕、活化、接枝等改性處理。

等離子清洗機對PTFE聚四氟乙烯等離子表面處理工藝，實現對PTFE聚四氟乙烯材料的表面清洗、刻蝕、活化、接枝等改性處理，改善與提升PTFE聚四氟乙烯和金屬、塑膠、硅橡膠、陶瓷、金屬及粘合劑等物質粘接時的附著力。

型號	JL-VM200
等離子源系統	頻率		13.56MHz 射頻	40KHz 中頻
	功率		0~1000W可調	0-5000W可調
			選配
真空系統	真空腔體	材質	316L不銹鋼、航空鋁（選配）
		腔體內部尺寸（MM）	500700600（寬高深)
		腔體容積	200L
		極板	22層，水平式，活動可調節
		密封性	軍工級焊接密封
	泵	真空泵	油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）
		真空管路	不銹鋼管、不銹鋼波紋管
	真空計		1×10⁵~1×10^-1Pa
	質量流量計		＜±1% FS
	氣路控制		2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調
	極限真空		5Pa
適用氣體	流量范圍		0-500SCCM（可調）
	工藝氣體		Ar、N?、O?、H?等等（可選）
	1、PLC 自動控制；
	2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；
	3、配方程序為 0~99；
	4、多級權限操作；
	5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息；
	6、存儲工藝數據及錯誤信息；
	7、報警信息提示及追溯；
	8、圖形化界面檢測處理參數；
	9、自動、手動操作可切換；
	10、維護提示緊急停止按鈕；
	11、門感應器和真空互鎖；
	12、機器運行信號指示；
	13、機器運行結束提示；
外觀參數	外形尺寸(MM)		105017001080(寬高深）
	重量		800KG
設施配置	電力		五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定
	壓縮空氣		干燥壓縮空氣CDA
	其它		提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單.

給物質施加高溫或通過加速電子、加速離子等方式給物質提供能量, 中性的物質被電離成大量帶電粒子 (電子、離子) 和中性粒子組成的混合狀態稱為等離子體。等離子體整體呈電中性, 它是除固態、液態、氣態外的物質第四種狀態。在所產生的等離子體中, 當電子溫度與離子溫度及氣體溫度相等時, 該等離子體稱為平衡等離子體或高溫等離子體;當電子溫度遠高于離子溫度和氣體溫度時, 該等離子體為非平衡等離子體或低溫等離子體。目前, 用于材料表面改性的主要是低溫等離子體。

在材料表面改性中, 主要是利用低溫等離子體轟擊材料表面, 使材料表面分子的化學鍵被打開, 并與等離子體中的自由基結合, 在材料表面形成極性基團。由于表面增加了大量的極性基團, 從而能顯著地提高材料表面的粘接性能、印刷性能、染色性能等。低溫等離子體的能量一般為幾到幾十電子伏特 (電子0~20 eV, 離子0~2 eV, 亞穩態離子0~20 eV, 紫外光/可見光3~40 eV) , 而PTFE中C-F鍵鍵能為4.4 eV, C-C鍵鍵能為3.4 eV。由此可見, 低溫等離子體的能量高于這些化學鍵的能量, 足以使PTFE表面的分子鍵斷裂, 發生刻蝕、交聯、接枝等一系列物理化學反應。

由于PTFE極低的表面活性和不粘性限制了它與其他復合材料的復合，特別是PTFE薄膜與其他骨架材料的粘結，因此必須對PTFE材料進行一定的表面改性，以提高其表面活性。

等離子表面處理使用氧氣氬氣，產生能量，當有足夠的能量就可以打開PTFE聚四氟乙烯的碳氟鍵，同時又有活性基團替代掉氟原子時，PTFE聚四氟乙烯就會變成極性聚合物，表面能得到提升，親水性得以改善。