综合无码一区二区三区四区五区,欧美熟妇性XXX交潮喷,小寡妇HD高清在线观看视频,成人午夜爽爽爽免费视频

定制等離子清洗機(jī)

外延片等離子刻蝕機(jī)

對(duì)外延片、晶圓、塑料、金屬材料等，進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕，實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)異性刻蝕，保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。


  • 功能特點(diǎn)
  • 規(guī)格參數(shù)
  • 外形尺寸

    • 1、小技巧、操作簡(jiǎn)單、易維護(hù)。

    2、引進(jìn)德國(guó)核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。
    3、進(jìn)口針閥精密流量控制計(jì)，精度高。

    4、材質(zhì)耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
    5、多路工藝反應(yīng)氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。

    6、可以根據(jù)客戶(hù)需求定制。


    型  號(hào)

    JL-E30

    等離子源系統(tǒng)

    頻  率

    13.56MHz  射頻

    功  率

    0~500W    可調(diào)

    真空系統(tǒng)

    真空腔體

    材質(zhì)

    石英、航空鋁（選配）

    腔體內(nèi)部尺寸(MM)

    400*200*400

    腔體容積

    30L

    極板

    1層

    密封性

    軍工級(jí)焊接密封

    泵

    真空泵

    干泵

    真空管路

    不銹鋼管、不銹鋼波紋管

    真空計(jì)

    薄膜硅

    氣體流量計(jì)

    ＜±1% FS

    氣路控制

    2路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)

    極限真空

    3Pa

    適用氣體

    流量范圍

    0-500SCCM（可調(diào)）

    工藝氣體

    Ar、N?O?、H?等等（可選）

    控制系統(tǒng)

    1、PLC 自動(dòng)控制；

    2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面；

    3、配方程序?yàn)?nbsp;0~99；

    4、多級(jí)權(quán)限操作；

    5、圖形化曲線圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息；

    6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息；

    7、報(bào)警信息提示及追溯；

    8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù)；

    9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；

    10、維護(hù)提示緊急停止按鈕；

    11、門(mén)感應(yīng)器和真空互鎖；

    12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示；

    13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示；

    外觀參數(shù)

    外形尺寸(MM)

    640*1700*840 (寬高深）

    重  量

    280KG

    設(shè)施配置

    電  力

    五線，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。

    壓縮空氣

    干燥壓縮空氣CDA。

    其  它

    提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè)，易損件備件清單。