外延片等離子刻蝕機

對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等，進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕，實現各項異性刻蝕，保證細小圖形轉移后的保真性。

型號	JL-E30
等離子源系統	頻率		13.56MHz 射頻
	功率		0~500W 可調
真空系統	真空腔體	材質	石英、航空鋁（選配）
		腔體內部尺寸(MM)	400200400
		腔體容積	30L
		極板	1層
		密封性	軍工級焊接密封
	泵	真空泵	干泵
		真空管路	不銹鋼管、不銹鋼波紋管
	真空計		薄膜硅
	氣體流量計		＜±1% FS
	氣路控制		2路處理氣體氣路，氣體流量可調
	極限真空		3Pa
適用氣體	流量范圍		0-500SCCM（可調）
	工藝氣體		Ar、N?O?、H?等等（可選）
控制系統	1、PLC 自動控制；
	2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；
	3、配方程序為 0~99；
	4、多級權限操作；
	5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息；
	6、存儲工藝數據及錯誤信息；
	7、報警信息提示及追溯；
	8、圖形化界面檢測處理參數；
	9、自動、手動操作可切換；
	10、維護提示緊急停止按鈕；
	11、門感應器和真空互鎖；
	12、機器運行信號指示；
	13、機器運行結束提示；
外觀參數	外形尺寸(MM)		6401700840 (寬高深）
	重量		280KG
設施配置	電力		五線，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。
	壓縮空氣		干燥壓縮空氣CDA。
	其它		提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單。