目前等離子清洗按形式分二大類：
①，真空等離子清洗
真空等離子清洗是在一個密閉的真空腔內，加注不同種類的氣體，使氣壓保持在10~100Pa，激發等離子體.對產品表面進行清洗，材料改性及微蝕刻。
②，大氣等離子清洗,也叫常壓等離子清洗，射流等離子清洗。
大氣等離子清洗，是在自然環境下，激發等離子體，使用壓縮空氣使等離子體按氣流方向經噴嘴噴射出來，從而對產品表面進行微蝕刻，提升表面張力。
按頻率分三大類：
1，頻率在KHZ的中頻等離子，頻率在MHZ的射頻等離子，頻率在GHZ的微波等離子
