小型高頻電源等離子
摘要:本發明公開了一種帶有超高頻電源的小型等離子發生器,其技術方案要點是:包括呈方形設置框架,所述框架內互相平行設有若干電極,所述電極與超高頻電源相連,所述電極外套設有石英管,所述電極包括正電極以及負電極,所述正電極設置在負電極的側面并且所述正電極與負電極間隔設置,所述正電極固定在框架的頂部,所述負電極固定在框架的底部。由于正電極以及負電極是交錯設置的,因此,在同一個框架上,正電極與負電極的橫向距離會減小,這樣,在同等寬度的框架上,可以安裝更多的正電極以及負電極,提高了等離子的產生效率,進而可以提高空氣的凈化效果。
主權利要求:1.一種帶有超高頻電源的小型等離子發生器,包括處理管(2),處理管(2)內設有對空氣進行凈化的低溫等離子凈化裝置,低溫等離子凈化裝置包括呈方形設置的框架(4),所述框架(4)內互相平行設有若干電極(42),所述電極(42)與超高頻電源相連,所述電極(42)外套設有石英管(421),所述電極(42)包括正電極以及負電極,其特征在于:所述正電極與負電極間隔設置,負電極設置在相鄰兩正電極連線的側面,所述正電極固定在框架(4)的頂部,所述負電極固定在框架(4)的底部,所述框架(4)上沿石英管(421)的長度方向設有抵接桿(6)以及驅動抵接桿(6)始終與石英管(421)的端面抵接的第一彈性件,所述抵接桿(6)上設有動觸點(61),所述框架(4)上與動觸點(61)對應設有靜觸點(43),所述動觸點(61)以及靜觸點(43)連接有報警電路。
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