通常認為甲烷在等離子體條件下通過兩種途徑產生乙炔： 1. CH自由基偶聯反應； 2. C2H6和C2H4的脫氫反應。系統中CO2濃度的不斷增加會消耗大量高能電子、C2H6、C2H4和高能電子。電子碰撞的可能性不斷降低，偶聯劑附著力進一步的脫氫反應受到阻礙，C2H4的產生量進一步減少。因此，隨著體系中CO2濃度的增加，C2H6和C2H4的摩爾分數趨于增加，C2H2的摩爾分數減小。。

一般而言，偶聯劑附著力CEO2 / Y-AL203 是一種出色的催化劑，可將 CH4 完全氧化生成 CO，并且不會導致生成 C2 碳氫化合物。同樣，SM2O3 / Y-AL2O3 是等離子體中 CH4 氧化偶聯反應的優良催化劑。其在等離子體氣氛中的催化活性尚不清楚。這表明等離子體-催化相互作用的機理不同于純催化。因此，有必要進一步研究等離子體表面處理裝置與催化劑的相互作用機理。

等離子體設備作用下二氧化碳加入對CH4轉化反應的影響；在氧等離子體氧化偶聯甲烷反應中，哪些硅烷偶聯劑附著力氧氣的用量將直接影響CH4的轉化率和C2烴的選擇性。較低的氧量會導致CH4轉化率較低，而較高的氧量會導致CH4氧化為COx(x=1,2）。對于等離子體設備作用下的CO2氧化CH轉化反應，也有適宜的CO2添加量。

具體分類如下：分類高溫等離子體低溫等離子體熱等離子體冷等離子體溫度范圍10^6~10^8K10^3~10^5K10^2~10^5K熱力學性質熱力學平衡局部熱力學平衡非熱力學平衡應用范圍太陽上等離子體電弧等離子體輝光放電受控熱核聚變高頻等離子體電暈放電。plasma等離子發生器廣泛應用于刻蝕、脫膠、涂層、灰度、等離子外表處理。

那類型硅烷偶聯劑附著力好

PTFE微孔板薄膜的使用范疇不斷拓展，可以預見等離子表層徹底解決PTFE微孔板薄膜技術也會逐漸獲得應用推廣。。等離子表面改性會產生幾種改變等離子表面改性是等離子資料和其他資料表面相互作用的進程，這其間設計到等離子化學以及等離子物理兩個作用進程。

工作氣體通過噴嘴與電極之間，用高頻火花引燃電弧。電弧加熱并電離氣體，產生等離子弧，氣體的熱膨脹從噴嘴噴射出高速等離子射流。粉末氣體從噴嘴(粉末內部)或噴嘴外部(粉末外部)進入等離子體射流，被加熱到熔融或半熔融狀態，并被等離子體射流加速，以一定的速度到達經過預處理的基板表面形成涂層。常見的等離子體氣體有氬、氫、氦、氮或它們的混合物。工藝氣體與施加在電極上的電流一起控制工藝產生的能量。

3﹑銅箔不可有氧化﹐檢查清潔銅箔：已毛刷輕刷表面﹐以刷除毛屑或雜質。4﹑將正確之coverlay依工作指示將正確之coverlay依工作指示及檢驗標準卡之位置和規定對位，以電燙斗固定。5﹑假貼后的半成品應盡快送之熱壓站進行壓合作業以避免氧化。品質控制重點：1﹑要求工作指示及檢驗標準卡之實物對照coverlay裸露和鉆孔位置是否完全正確。

等離子清洗機又稱等離子蝕刻機、等離子脫膠機、等離子活化劑、等離子清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理設備廣泛用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓剝離、等離子鍍膜、等離子灰化、等離子活化、等離子表面處理等。同時，它去除有機污染物、油和油脂。點火線圈骨架用等離子清洗劑處理后，不僅可以去除表面的不揮發油污，而且骨架的表面活性，即骨架與環氧樹脂的結合強度提高，空氣避免了氣泡。

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