電暈清洗技術簡單、環保、清洗效果明顯，電暈機的功能及作用對盲孔結構非常有效。電暈清洗是指高度活化的電暈在電場作用下定向運動，與孔壁上的鉆井污物發生氣固化學反應，同時產生的氣體產物與其中部分不發生反應；顆粒由吸入泵排出。電暈在HDI板盲孔清洗中一般分為三個步驟。

封裝過程的質量直接影響微電子產品的成品率，電暈機的功能及作用而整個封裝過程中最大的問題就是附著在產品表面的污染物。根據污染物的不同環節，可在各工序前應用電暈清洗。一般分布在鍵合、引線鍵合和塑封前。電暈清洗在整個封裝過程中的主要作用是防止封裝分層、改善鍵合線質量、增加鍵合強度、提高可靠性、提高成品率、節約成本。

2.-真空電暈激活鍵能和化學交聯效應：由于低溫電暈表面作用于固體物質表面后，紙袋機中電暈機的作用原料表面能量多為0～10eV，在低溫電暈作用下可形成固體物質表面化學鍵；為了打破固體表面的化學鍵，羥基自由基在低溫電暈中與這些鍵形成網絡交聯，大大增強了表面層的活性。。電暈，即物質的第四態，是由部分電子剝奪后的原子和原子電離后產生的電子、正電子組成的電離氣態物質。

因此，電暈機的功能及作用電子在分子和原子中被激發，它們處于被激發或離子狀態。此時，物質存在的狀態是電暈狀態。電暈與材料表面的反應主要有兩種，一種是自由基作用下的化學反應，另一種是離子作用下的物理反應，下面會有更詳細的說明。（1）化學反應化學反應所用的氣體有氫(H2)、氧(O2)、甲烷(CF4)等，這些氣體在電暈中反應成高活性自由基，其方程式為：這些自由基會進一步與材料表面發生反應。

紙袋機中電暈機的作用

電暈中的熱電暈裝置是利用尖端電極（如刀形或針形尖端、狹縫電極）激發產生電暈火焰，即常壓電暈或常壓電暈；在冷電暈裝置中，正負極布置在密封容器中形成電場，配合真空泵實現一定程度的真空，隨著氣體越來越稀薄，分子之間的距離和分子或離子自由運動的距離越來越長。氣體在電場作用下碰撞形成電暈，會發出輝光，稱為真空電暈或低壓電暈。

通過電暈中親水顆粒與水分子的相互作用去除碳纖維材料表面漿料，實現了碳纖維材料的親水功能改性。低溫電暈發生器材料表面層的有效預處理可以有效提高材料本身表面層的附著力，即使材料本身表面層具有親水作用，這樣普通廉價的膠粘劑就可以進行后續的附著力工作，并且非常穩定。

主要包括兩個方面：1.電暈產生過程中，高頻放電產生的瞬時高能量打開了一些有害氣體分子的化學鍵，將其分解為單質原子或無害分子。2.電暈中含有大量高能電子、離子、激發態粒子和氧化性強的自由基。這些活性粒子的平均能量高于氣體分子的鍵能，頻繁與有害氣體分子碰撞，打開氣體分子的化學鍵，形成單原子分子和固體粒子。同時，產生的大量·OH、·H2O、·O等自由基與氧化性強的O3及有害氣體分子反應形成無害產物。。

油污通常是精密零件清洗在加工零件表面的殘留物，O2電暈去除效果尤為明顯。在最近的研究中，人們也提到了電暈清洗對材料表面造成的濺射損傷。事實上，只要能量控制得當，輕微的表面損傷就能大大增強附著力，在某些情況下成為不可或缺的過程，比如用氬電暈去除某些材料的表面氧化物。當然，一些工藝試驗表明，采用分步清洗工藝可以將損傷降低到最低程度。此外，血漿清洗殘留物的毒性在國外已有深入研究。

電暈機的功能及作用

電子和重粒子（離子、分子和原子）之間能量轉移的速率與碰撞的頻率（單位時間內的碰撞次數）成正比。在致密氣體中，紙袋機中電暈機的作用碰撞頻繁，兩種粒子的平均動能（即溫度）很容易達到平衡，因此電子溫度大致等于氣體溫度，這是氣壓在一個大氣壓以上時的常見情況，一般稱為熱電暈或平衡電暈。在低壓條件下，碰撞很少，電子從電場中獲得的能量不易傳遞給重粒子。此時電子溫度高于氣體溫度，通常稱為冷電暈或非平衡電暈。

在電子工業中，電暈機的功能及作用電暈活化清洗處理工藝是一項能夠實現成本效益和工藝可靠性的關鍵技術，在印刷電路板上的導電涂層印刷前進行電暈活化處理、（電暈外處理設備）微清洗和靜電去除處理，可以保證涂層的強附著力。如果在芯片封裝領域選擇外部電暈清洗技能，則不再需要真空室。