在離子增強蝕刻中，電暈處理機不產生火花當高能粒子撞擊表面時，表面會形成缺陷、位錯或懸浮物。這些缺陷增加了表面的化學蝕刻速率，使蝕刻過程同時具有選擇性和方向性。在所有這些清洗過程中，碳氫化合物與基底之間的鍵合被削弱，獲得的能量導致這些有機絡合物從基底上分離。一旦從化合物的分子基團中分離出來，就會被惰性氣體帶走。電暈產生的光輻照與中性粒子流和帶電粒子轟擊相結合鍵的斷裂提供能量。

當氣體越來越稀薄時，電暈處理機觸發板線路圖分子之間的距離和分子或離子的自由運動距離越來越長，它們碰撞形成電暈，會發出輝光，所以稱為輝光放電處理。電暈發生器的形成機理包括電離反應、帶電粒子傳輸和電磁運動學。電暈發生器的形成和氣化過程中伴隨著電子、粒子和中性粒子的碰撞反應。電暈中粒子的碰撞會形成活性組分。

非平衡電暈處理技術用于污染控制電暈輔助處理技術可以減少大氣污染對環境的破壞。電暈可以產生大量的活性成分。與傳統的熱激發法相比，電暈處理機觸發板線路圖電暈處理工藝可以提供更多的反應消解途徑。非平衡電暈中電子的能量分布不同于重粒子，它們處于不平衡狀態，因此可以認為含有電子的氣體溫度遠高于含有中性粒子和離子的氣體。因此，可以引導高能電子通過碰撞激發氣體分子，或分解電離氣體分子。

在清洗過程中，電暈處理機不產生火花電暈可以增強這些材料的附著力、相容性和潤濕性。目前，電暈表面處理器可廣泛應用于光電子、高分子材料、生物醫藥等領域。電暈發生器生產能力在線，并可實現自動清洗。

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電暈表面清洗可以去除污垢層、不需要的聚合物涂層和一些加工聚合物的弱邊緣2.聚合物表面復合：用于電暈燒蝕的惰性氣體破壞聚合物表面的共價鍵，使聚合物表面出現獨立的官能團，并與聚合物鏈中的獨立官能團重新結合，形成原有的聚合物結構。在聚合物鏈中，能量基團形成附近具有獨立官能團的鍵或鏈，聚合物表面重組可以提高表面硬度和耐化學性。3.聚合物的表面改性。

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