放電氣壓可以在小于1Pa到數倍大氣壓（105Pa）之間。等離子體發生器常常運用交變電源驅動放電，漆膜附著力高低溫交變其頻率規模在1 MHz到200 MHz之間。這個頻率規模歸于射頻波段，射頻波段是特別有意義的。關于低頻端的射頻放電，除了重離子外，等離子體中的其它各種粒子的運動均可以跟上射頻電磁場的改變；而關于高頻端的射頻放電，等離子體中只要電子可以呼應射頻電磁場的改變，離子因為慣性較大，只能呼應時間均勻的電場。

等離子體清洗設備的原理是在真空的條件下，漆膜附著力提升方法壓力越來越小，分子之間的間距越來越大，分子間的力越來越小，利用高壓交變電場產生的射頻(rf)功率來輸送氧氣、氬氣、氫氣湍流化成具有高反應活性和高能量的離子，然后與有機污染物和微顆粒污染形成揮發性物質或碰撞，這些揮發性物質再通過工作氣流和真空泵去除，實現清潔表面活化。

等離子體處理原理:以一組電極在射頻電源上，漆膜附著力高低溫交變形成高頻交變電場，在交變電場的發酵下，電極間形成氣體區域，形成等離子體，而等離子體的活性則是對表面進行物理轟擊和化學反應的雙重作用，使表面被清洗的物質變成顆粒和氣態物質，經過真空放電，從而達到表面處理的目的。等離子體技術的應用:通過等離子體轟擊物體表面，可達到對物體表面進行刻蝕、活化和清洗的目的。

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　　2. 等離子體是由電子、離子、自由基、激發態分子和原子、基態分子和光子等組成，表面上看呈電中性，其實內部具有很強的電特性、化學特性和熱效應。

由于等離子清洗工藝需要進行真空處理，而一般對于在線進行在線或批量生產，所以當等離子清洗裝置用于生產線的引進時，必須考慮到正在清洗的工件的儲存和轉移，特別是當被加工的工件尺寸較大時，對這個問題應該給予更多的考慮。

除了氣體分子、離子和電子之外，等離子體還包含被能量激發態激發的帶中性原子或原子團，這些能量激發態是自由基和從等離子體發射的光。等離子體在等離子體與物體表面的相互作用中起著重要作用。自由基，例如自由基，與表面反應。離子中的自由基具有很強的電學性質，比離子存在的時間更長。在等離子體中，自由基是高度揮發性的，它們的功能主要是在化學反應過程中激活（化學）能量轉移。

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