對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等，表面進行清洗，活化改性，去有機物，去氧化物，去顆粒；提升親水性，增強粘接性，附著力，分子活性。
型號
JL-VM100
等離子源系統
頻 率
13.56MHz 射頻
40KHz 中頻
功 率
0~1000W可調
0-5000W可調
選 配
真空系統
真空腔體
材質
316L不銹鋼、航空鋁（選配）
腔體內部尺寸（MM）
500*500*400（寬高深)
腔體容積
100L
極板
15層，水平式，活動可調節
密封性
軍工級焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）
真空管路
不銹鋼管、不銹鋼波紋管
真空計
1×105~1×10-1Pa
質量流量計
＜±1% FS
氣路控制
2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調
極限真空
5Pa
適用氣體
流量范圍
0-500SCCM（可調）
工藝氣體
Ar、N?、O?、H?等等（可選）
控制系統
1、PLC 自動控制；
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；
3、配方程序為 0~99；
4、多級權限操作；
5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息；
6、存儲工藝數據及錯誤信息；
7、報警信息提示及追溯；
8、圖形化界面檢測處理參數；
9、自動、手動操作可切換；
10、維護提示緊急停止按鈕；
11、門感應器和真空互鎖；
12、機器運行信號指示；
13、機器運行結束提示；
外觀參數
外形尺寸(MM)
1000*1750*900(寬高深）
重 量
550KG
設施配置
電 力
五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定
壓縮空氣
干燥壓縮空氣CDA
其 它
提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單.
