微組裝模塊的引線鍵合前清洗，清洗過程不會損傷裸芯片等敏感、易損器件；對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等，表面進行清洗，活化改性，去有機物，去氧化物，去顆粒；提升親水性，增強粘接性，附著力，分子活性。
型號
JL-VM60
等離子源系統
頻 率
13.56MHz 射頻
40KHz 中頻
功 率
0~1000W可調
0-3000W可調
選 配
真空系統
真空腔體
材質
316L不銹鋼、航空鋁（選配）
腔體內部尺寸(MM)
400*400*400（寬高深)
腔體容積
60L
極板
5層極板5層托盤可拆卸式,層間距30mm，水平式，活動可調節
可放最大產品尺寸
320mm*280mm
密封性
軍工級焊接密封
泵
泵組
油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）20?/H
真空管路
不銹鋼管、不銹鋼波紋管
真空計
1×105~1×10-1Pa
質量流量計
＜±1% FS 質量流量控制（MFC）系統
氣路控制
2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調
真空度基礎壓力設定范圍
10Pa-50Pa
適用氣體
流量范圍
0-500SCCM（可調）
工藝氣體
Ar、N?、O?、H?等等（可選）
控制系統
1、PLC 自動控制；
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；
3、配方程序為 0~99；
4、多級權限操作；
5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息；
6、存儲工藝數據及錯誤信息；
7、配備聲光報警裝置,報警信息提示及追溯；
8、保護功能：工作氣體耗盡報警、壓縮空氣力低于設定值報警、反應倉泄露率過大報警、控制面板處設急停按鈕等
9、免靜電清洗等多種清洗模式
10、圖形化界面檢測處理參數；
11、自動、手動操作可切換；
12、維護提示緊急停止按鈕；
13、門感應器和真空互鎖；
14、顯示功能：工藝參數顯示；運行時間顯示；工藝過程實時監視并顯示運行狀態，如泵的、射頻電源監視并顯示運行狀態，如泵的、射頻電源監視并顯示運行狀態，如泵的、 射頻電源質量流量等；故障報警，提示項目
15、機器運行信號指示；
16、機器運行結束提示；
17、設備無WIFI，無藍牙，無讀卡器等相關裝置
外觀參數
外形尺寸(MM)
900*1750*900(寬高深）
重 量
320KG
設施配置
電 力
五線線三相制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定
整機功率
2KW
壓縮空氣
干燥壓縮空氣CDA 0.5MPa
其 它
提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單.
