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1、小技巧、操作簡單、易維護。
2、引進德國核心等離子技術，質量有保障。
3、進口針閥精密流量控制計，精度高。
4、316不銹鋼材質,耐腐蝕，環保不產生金屬污染。
5、多路工藝反應氣體通道，保證產品清洗效果。
6、可以根據客戶需求定制。
對材料表面去油及清潔、灰化表面有機層，材料表面氧化物去除, 焊接前清潔基材表面，應用于金屬材料、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔 ,印刷、噴涂、電鍍前表面清潔，提升產品親水性。
型 號
JL-VMS05
等離子源系統
頻 率
13.65MHz 射頻
功 率
300W （連續可調，精度為1W）
真空系統
真空腔體
材質
石英
腔體內部尺寸(MM)
D155*260（直徑*深度)
腔體容積
5 L
密封性
軍工級焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵
處理溫度
＜60°C
流量計
0-500ml/min
氣路控制
標配2路(可定制)
真空度
5Pa --30Pa
工藝氣體
Ar、N?、CF?、O?、H?等（可選）
控制系統
1、PLC 自動控制；
2、4.3寸觸摸屏,圖形用戶界面；
3、配方程序為 0~99；
4、多級權限操作；
5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息；
6、存儲工藝數據及錯誤信息；
7、報警信息提示及追溯；
8、圖形化界面檢測處理參數；
9、自動、手動操作可切換；
10、維護提示緊急停止按鈕；
11、門感應器和真空互鎖；
12、機器運行信號指示；
13、機器運行結束提示；
外觀參數
外形尺寸(MM)
650*420*480(寬*高*深）
重 量
55KG
設施配置
電 力
單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。
壓縮空氣
無
其 它
提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單.
