大體來說，硅基上氧化鋁薄膜附著力鋰電池的生產(chǎn)包括極片制造、電芯制作以及電池組裝三部分。在這三個(gè)大的工序中又有數(shù)道關(guān)鍵工藝，不同的生產(chǎn)工藝生產(chǎn)的電池性能差異很大。在3個(gè)制程中增加等離子清洗可以極大提高電池制造工藝水平。極片涂覆前等離子清洗鋰電池的正負(fù)極片是在金屬薄帶上涂覆鋰電池正負(fù)極材料而成，金屬薄帶在涂覆電極材料時(shí)，需要對(duì)金屬薄帶進(jìn)行清洗，金屬薄帶一般為鋁薄或銅薄，原來的濕式乙醇清洗，容易對(duì)鋰電池其他部件造成損傷。
極片涂覆前PLASMA等離子清洗機(jī)清洗： 鋰電池的正負(fù)極片是在金屬薄帶上涂覆鋰電池正負(fù)極材料而成，非晶氧化鋁薄膜附著力金屬薄帶在涂覆電極材料時(shí)，需要對(duì)金屬薄帶進(jìn)行清洗，金屬薄帶一般為鋁薄或銅薄，原來的濕式乙醇清洗，容易對(duì)鋰電池其他部件造成損傷。等離子干式清洗機(jī)有效解決以上問題。 電池焊接前等離子清洗： 等離子清洗是一種干式清洗，主要是依靠等離子中活性離子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。
金屬條一般為鋁薄或銅薄。原來的濕式乙醇清洗容易對(duì)鋰電池的其他部件造成損傷。干式等離子清洗機(jī)可以有效地解決上述問題。。常用的等離子體激勵(lì)頻率有三種：激勵(lì)頻率為40kHz的超聲等離子體、激勵(lì)頻率為13.56MHz的射頻等離子體和激勵(lì)頻率為2.45GHz的微波等離子體。不同等離子體的自偏壓不同，硅基上氧化鋁薄膜附著力超聲等離子體的自偏壓約為0V，射頻等離子體的自偏壓約為250V，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏。
PDMS 微流控系統(tǒng)等離子處理的 PDMS 聚二甲基硅氧烷（簡稱 PDMS）是一種非常常見且廣泛使用的有機(jī)硅基聚合物。所有有機(jī)硅都具有重復(fù)的硅氧烷單元，硅基上氧化鋁薄膜附著力每個(gè)單元由一個(gè) Si-O 基團(tuán)組成。許多側(cè)基可以連接到硅原子上。對(duì)于 PDMS，這些側(cè)基是甲基 CH3。聚合物可以與各種鏈端結(jié)合。更常見的是三甲基硅氧基Si-SH3。
鋁薄膜附著力
另外，由于蝕刻和側(cè)墻吸附保護(hù)的步驟同時(shí)進(jìn)行，特征圖形的側(cè)墻會(huì)變得相當(dāng)光滑。這種同時(shí)進(jìn)行的蝕刻和保護(hù)步驟也會(huì)加快蝕刻進(jìn)程。所以，這種在超低溫條件下運(yùn)用等離子表面處理機(jī)SF6/O2連續(xù)等離子體蝕刻硅基材的過程被稱作標(biāo)準(zhǔn)超低溫過程。 精準(zhǔn)控制含SiOxFy無機(jī)副產(chǎn)物構(gòu)成圖形側(cè)墻的保護(hù)層將會(huì)是標(biāo)準(zhǔn)超低溫蝕刻工藝中的關(guān)鍵步驟。
正因?yàn)閳A片清洗是半導(dǎo)體制造過程中最為重要、最為頻繁的步驟，而其工藝質(zhì)量直接影響著設(shè)備的成品率、性能和可靠性所以國內(nèi)外各大公司、研究所等都在不斷地對(duì)清洗工藝進(jìn)行研究。離子清洗是一種先進(jìn)的干式清洗技術(shù)，具有綠色環(huán)保等特點(diǎn)，隨著微電子行業(yè)的快速發(fā)展，等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用日益增多。 現(xiàn)在，相對(duì)于PDMS和硅基材料的低溫粘結(jié)有多種方法。
即相變存儲(chǔ)器在01之間切換。這兩種狀態(tài)可以通過利用電流的焦耳熱效應(yīng)加熱相變材料來快速切換和循環(huán)。邏輯后端工藝的高溫決定了相變材料的初始狀態(tài)多為晶相（低電阻）。向非晶相的轉(zhuǎn)變需要非常短的時(shí)間，以使非常大的電流脈沖通過下部電極觸點(diǎn)（BOTTOM ELECTRODE CONTACT，BEC）以熔化一些相變材料并將其退火增加。通過熔融退火轉(zhuǎn)化為非晶相的這部分區(qū)域是可編程區(qū)域。
硅藻土中的硅藻殼具有特殊的微孔結(jié)構(gòu)和由非晶態(tài)二氧化硅組成的殼壁，這些分布在殼壁上的小孔為催化劑活性組分的均勻吸附或包覆提供了良好的條件。此外，硅藻土本身具有良好的滲透性，使流體能夠以更大的流量通過，因此硅藻土成為釩催化劑的重要載體。我國硅藻土儲(chǔ)量豐富，但可作為釩催化劑載體的優(yōu)質(zhì)硅藻土較少。近年來，由于政府采取保護(hù)性開采措施，允許開采的優(yōu)質(zhì)硅藻土礦山越來越少。
非晶氧化鋁薄膜附著力
在等離子表面處理過程中，硅基上氧化鋁薄膜附著力等離子體與材料表面撞擊時(shí)會(huì)將自己的能量傳遞給材料表面的分子及原子，因此產(chǎn)生一系列的物理和化學(xué)反應(yīng)過程。也會(huì)通過注入粒子或氣體到材料表面引起碰撞、散射、激發(fā)、重排、異構(gòu)、缺陷、晶化及非晶化，以此達(dá)到改變材料的表面性能的處理效果 。等離子體表面處理工業(yè)設(shè)備在數(shù)字工業(yè)中的應(yīng)用：塑料作為一種替代金屬的新材料，表面的涂裝非常困難。
