等離子邊緣雕刻機是根據反應室的結構特別設計的，北京低溫等離子處理設備施工只對晶圓的邊緣區域進行清洗和蝕刻。這對減少缺陷數量和提高良率具有積極作用。 1.電容耦合等離子體裝置：對兩個平行板電容器施加高頻電場，反應室內的初始電子在高頻電場的作用下獲取能量并與蝕刻氣體碰撞。為了將其電離并產生更多電子，離子和中性自由基粒子形成動態平衡的冷等離子體。在高頻電場的作用下，形成垂直于晶片方向的自偏壓，因此離子可以獲得較大的沖擊能量。

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20世紀90年代以來，北京低溫表面等離子處理設備廠家紡織業的商場驅動力包含：對設計和立異性面料更為關注，以及工業化國家對新技能添加投入，然后逆轉其紡織和服裝業的長期頹勢。早期成功打入西方商場的東亞新式工業化國家開端發現，他們原有的位置已經開端被新一代發展中國家所搶占。在整個紡織業工業鏈中，公司和國家間不斷發生著搶奪商場份額的劇烈競賽，在競賽中，技能發揮著要害性效果。

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由于CH3-CH3鍵的鍵能為3.8eV，而CH3CH2-H鍵的鍵能為4.2eV (等離子體中電子的平均能量為6eV)，所以C2H6分子在等離子體作用下按下列方式解離：C2H6 + e* → CH3 + CH3 + e (3-38)C2H6 + e* → C2H5 + H + e (3-39)同樣，CO2分子與高能電子發生非彈性碰撞促使C-O鍵斷裂，生成活性氧物種：CO2 + e* → CO + O- (3-40)CO2 + e* → CO + O +e (3-41)活性氧物種與C2H6分子發生非彈性碰撞終生成C2H4和C2H2：C2H6+0 →C2H4+H2OC2H6+O- →C2H4+H2O+e (3-42)C2H6+2O→C2H4+H2O C2H6+2O-→C2H2+2H2O+2e (3-43)因此，隨著反應體系中CO2加入量的增加，更多的氧物種與乙烷反應生成乙烯和乙炔。

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