低溫等離子體技術可以在空氣中產生負離子；在低溫等離子體中，電暈機作用與功效高能電子可以使氧、氮等氣體分子帶上電子，從而產生空氣負離子，這些負離子有&ldquo；空氣維生素&rdquo；，&ldquo；長壽元素；具有良好的健康功效，對人體及其他生物的生命活動有很大影響。低溫等離子體技術可以達到生物消毒的目的；低溫等離子體具有明顯的生物消毒作用。這一特點在疫情期間也得到了證實和應用。

氬氣和氦氣具有穩定特性，電暈機作用與功效分子的低充放電電壓非常容易產生亞穩態分子。一方面，利用它們高能粒子的物理功效，清理容易被氧化或還原的物體。Ar+轟擊泥土產生揮發性化學物質。污染物被抽離真空泵，以防止表面化學物質發生反應。氬極易產生亞穩態分子，與氧原子碰撞時產生正電荷變換和復合。在等離子體清洗設備中使用純氫是非常高效的，但考慮到充放電的可靠性和安全系數，氬氫化合物也可以用于等離子體清洗設備。

分成三種等離子體效應：微噴砂處理：離子沖擊剝蝕表面化學反應：電離氣體與表面紫外輻射反應：紫外輻射分解長鏈碳化合物。等離子體的作用方式也會隨著壓力、功率、工藝時間、氣體流量、氣體成分等工藝參數的變化而變化。這樣，電暈機作用與功效在單個工藝步驟中可以實現多種效果。

一種是導致輕雜質（氧、碳等）進入等離子體的機制；另一種是導致重（金屬）雜質進入等離子體的機制。至于工作氣體，電暈機作用與功效也經歷入射到壁面再釋放回等離子體的過程，一般稱為氣體循環。等離子體與表面相互作用的研究可以分為兩個方面。理論工作主要致力于對某些過程的理解。如濺射、鼓泡、單極電弧、氣體循環、邊界層等，建立了相應的物理模型，并嘗試給出物理參數之間的定量關系。實驗工作可分為兩類。

電暈機作用與功效

通過調整工藝參數（如電壓、電流、爐內氣體壓力、溫度、時間和工作氣體成分等），容易獲得純擴散層、單相層和復合層。離子滲氮的關鍵技術是如何根據其特性和相關模具的使用條件合理選擇工藝參數，進而獲得最佳的滲氮層。（3）離子碳氮共滲離子滲碳氮技術是通過在鋼表面分解爐氣中的活性組分C3H8和NH3，分離出的活性原子C、N被表面吸收擴散到基體中實現的。又稱離子軟氮化，是由鹽浴和氣體軟氮化發展而來的。

⑤垂直于二維平面方向的電導率很低，甚至是絕緣的。以上特點是這類材料具有性能高、實用性低的特點，但毫無疑問，克服每一個缺點都會使其在使用上更進一步，帶來巨大的商業價值。這些材料的蝕刻一般比較困難，它們都具有活性強、體積小、靶材厚度極薄等特點。采用強化學蝕刻的等離子體蝕刻將難以控制蝕刻參數；用高能等離激元女兒顯然不工作，這會損害影片。目前還沒有成熟的蝕刻工藝對其進行圖案化。

研究了等離子體設備的柵電極氧化層被等離子體相關過程損傷后，其HCI性能明顯惡化，這是因為在等離子體設備的等離子體過程中柵氧化層中會流過一定的電流，會產生新的氧化物陷阱和界面態，熱載流子注入其中更容易造成氧化物損傷。。等離子體設備中等離子體刻蝕對NBTI的影響；負偏置溫度不穩定性(NBTI)是指PMOS在負柵偏置和高溫下工作時，器件參數如Vth、gm和Idsat的不穩定性。

較小的電極間距可以將等離子體限制在較窄的區域內，從而獲得更高密度的等離子體，實現更快的清洗速度。隨著間距的增大，清洗速度逐漸減小但均勻性逐漸增大。電極的尺寸通常決定了等離子體清洗系統的整體容量。在電極平行分布的等離子體清洗系統中，電極通常用作托盤。更大的電極可以一次清洗更多的元件，提高設備的運行效率。工作壓力對等離子體清洗效果的影響工作壓力是等離子體清洗的重要參數之一。

電暈機作業需要管控的參數

這在世界高度關注環境保護的當下，電暈機作用與功效越來越顯示出它的重要性；4.無線電波范圍內高頻產生的等離子體不同于激光等直射光。等離子體的方向性不強，使其深入到物體的微孔和凹陷處完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且，這些不易清洗的部位，清洗效果甚至比氟利昂清洗還要好；5.采用等離子清洗，可大大提高清洗效率。

4缺加工除了設置連續生產線和在過程中設置防錯外，電暈機作用與功效還可以從以下幾個方面考慮改進：增設自檢互檢。每個工序放行前，操作人員應檢查該工序加工內容是否自行完成，檢查后放行或放入料架箱。加工前，檢查是否完成前一序列的加工或裝配內容。固定管理定位存儲。如果是單機作業，每個單機工位內的待加工件和已加工件必須分開放置固定。一般左手邊是待加工的部分，右手邊是加工的部分。嚴禁混裝，嚴禁將已加工的待加工件放置在同一架或箱內。