表 3-2 給出了等離子發生器能量密度對 H2 氣氛中 C2H6 脫氫反應的影響。隨著等離子注入量的增加，怎么增加乳膠漆的附著力C2H6 的轉化率急劇增加。這是因為隨著等離子體能量密度的增加，等離子體中的電子能量和電子密度增加，導致高能電子與H2發生非彈性碰撞。增加活性物質產生的可能性，增加 C2H6 的轉化率，增加其他產品所需的各種 CHX 和 C2HX 自由基的濃度，增加 C2H4 和 C2H2 的產生。

.相反，怎么增加乳膠漆的附著力CO2 轉化率隨著 CeO2 負載的增加而降低。隨著 CeO2 負載量從 0 增加到 10%，C2H4 和 C2H2 的總收率從 12.7% 增加到 21.8%。因此，有必要研究10% CeO2/Y-Al2O3與等離子體聯合作用下乙烷的轉化反應。

擊穿電離產生自由電子主要有兩種過程:一種是多光子電離，增加乳膠墊的附著力主要是因為多光子電離效應使空氣中自由電子的密度略有增加，這些自由電子可以作為種子電子，為后續大量產生自由電子奠定基礎。第二個過程是當自由電子的密度增加到一定程度時，隨后的脈沖能量被吸收效應強烈吸收，使自由電子的密度大大增加，這是雪崩電離階段。在這個過程中，空氣中有高密度的自由電子，大部分的脈沖能量被吸收和沉積，傳輸量很小。

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（2）將等離子體清洗蒸氣送入真空箱，使壓差保持在100帕，氧氣、氫氣、氮氣、氬氣等蒸氣可以根據各種清洗材料進行清洗。（3）電極和接地裝置在真空室內施加高頻電壓，使蒸氣分解，輝光放電產生電離和等離子體。真空室產生的等離子體被完全覆蓋，在工件加工過程中開始清洗操作。通常清洗過程持續幾十秒到幾分鐘。清洗后，當蒸氣吹入真空室時，切斷高頻電壓將蒸氣和蒸發的污物排出。

等離子體中除氣體分子、離子和電子外，它們是由等離子體發射的，如能量激發的電中性原子或原子團（也稱為自由基），以及波長和能級。光。它在等離子體與物質表面的相互作用中起重要作用。原子團等自由基與物體表面的反應：這些自由基在等離子體中發揮著重要作用，因為它們電重，壽命長，并且離子比離子更豐富。自由基主要出現在化學反應過程中能量轉移的“激活”中。

隨著高性能結構材料技術和先進材料加工技術的快速發展，人們對材料的韌性或剛性、環保性、循環利 用性和使用壽命等提出了更高的要求．因此通過對材料表面處理改變材料表面的形態、化學成分、組織結構等以提高材料各方面性能在近年來得到了迅速發展．在物理處理、化學處理和機械處理等眾多表面處理方法中，等離子體表面處理技術因其清潔高效、能耗低、無廢棄物等優點而快速發展。

等離子體的”活性”組分包括:離子、電子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

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