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此時，鹽霧試驗起泡沒附著力唐生放電從非自持區進入自持區。點火是非自持放電向自持放電的過渡形式。自持放電有許多不同的性質和形式。點火形成放電的性質和形式涉及多種條件，其中重要的條件有氣體性質、氣壓、電極形狀、電極位置、電極間距、外加電壓、外加功率和頻率等。區域IV和V為輝光放電區域：大氣等離子體表面清洗機的Ⅳ區為正常輝光放電區，主要存在于清洗機的放電過程中，Ⅴ區為異常輝光放電區。。

適用于處理三維、不規則物體，做完鹽霧試驗再做附著力局部可選擇性處理。等離子體處理設備穩定性高，功能完善，具有故障報警（包括氣壓報警、異常放電報警和旋轉噴嘴停止報警）和PLC信號反饋功能（包括氣壓反饋信號、放電反饋信號和放電控制反饋信號）。目前國內大部分設備基本不具備該功能，而多支噴槍同時運行時該功能非常重要，可以有效避免因未能及時發現故障而造成的損失。

低溫等離子體去除污染物的機理：等離子體化學反應過程中，做完鹽霧試驗再做附著力等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：(1)電場＋電子→高能電子(2)高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團(3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱(4)活性基團＋活性基團→生成物+熱從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。

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3.在真空室內電極與接地裝置之間施加高頻電壓，氣體被擊穿并通過輝光放電產生等離子體，真空室內產生的等離子體覆蓋處理后的工件，開始清洗作業。一般清洗處理持續數十秒至數十分鐘，視需要處理的材料不同而定。4.清洗完畢，切斷電源，通過真空泵抽走氣體和氣化的污物，清洗結束。

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