離子的能量分布和入射角分布是可以改變的。低壓是電暈的發(fā)展方向之一。在較低的壓力下,河北電暈電暈機(jī)廠家哪家好離子轟擊晶圓前的碰撞會(huì)減少,進(jìn)而減少散射碰撞,可以優(yōu)化離子入射角度,獲得更精確的刻蝕結(jié)果。4.遠(yuǎn)程電暈刻蝕機(jī):電暈的主要成分包括工會(huì)化氣體分子、帶電離子、電子和各種自由基。在與圖案轉(zhuǎn)移相關(guān)的傳統(tǒng)蝕刻工藝中,帶電離子體中的各種成分都很重要。

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德拜球外的庫(kù)侖勢(shì)可以忽略不計(jì)。德拜長(zhǎng)度的物理意義引用如下:(1)電暈對(duì)作用于其上的電位有屏蔽作用,河北電暈電暈機(jī)廠家直銷屏蔽半徑為德拜長(zhǎng)度;(2)Debye長(zhǎng)度是電暈電中性的一個(gè)小空間尺度,當(dāng)r>&λ時(shí);D、電暈為電中性;(3)Debye長(zhǎng)度是電暈宏觀空間尺度的下限,即電暈存在的空間尺度L>>&λ;D.。氣體的種類對(duì)電暈的狀態(tài)起決定性作用,直接影響電暈對(duì)高分子材料表面改性的方式和結(jié)果。

化學(xué)反應(yīng)中自由基的能量轉(zhuǎn)移“激活”作用,河北電暈電暈機(jī)廠家直銷激發(fā)態(tài)的自由基具有較高的能量,當(dāng)它容易與物體表面的分子結(jié)合時(shí),就會(huì)形成新的自由基。新形成的自由基也處于不穩(wěn)定的高能狀態(tài),很可能發(fā)生分解反應(yīng)。當(dāng)它們變成更小的分子時(shí),就會(huì)產(chǎn)生新的自由基。這一反應(yīng)過程可能會(huì)持續(xù)下去,最終分解成水和二氧化碳等簡(jiǎn)單分子。

1.2清洗型根據(jù)響應(yīng)類型不同,河北電暈電暈機(jī)廠家直銷電暈清洗技能可分為兩大類:電暈物理清洗,即通過脫殼活性粒子和高能射線分離污染物;電暈化學(xué)清洗,即通過活性粒子與雜質(zhì)分子的反應(yīng),使污染物蒸發(fā)分離。(1)激發(fā)頻率對(duì)電暈的清洗類型有一定的影響。例如,超聲電暈的響應(yīng)(激發(fā)頻率,40kHz)多為物理響應(yīng);微波電暈(激發(fā)頻率2.45GHz)的回波主要是化學(xué)回波。

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能量被聚合物吸收后,產(chǎn)生化學(xué)性質(zhì)非常活潑的自由基,容易與電暈中的氣體發(fā)生反應(yīng),產(chǎn)生揮發(fā)性氣體。快離子與中性粒子碰撞產(chǎn)生的中性自由基在電暈脫膠機(jī)中不斷轟擊樣品表面,中性粒子之間進(jìn)行電荷交換和能量傳遞,在電暈脫膠機(jī)中進(jìn)行。運(yùn)動(dòng)動(dòng)能和振動(dòng)動(dòng)能以溫和的方式加熱表面,解離和激發(fā)產(chǎn)生的自由基以平移或振動(dòng)的方式傳遞熱量。如果能量超過閾值,可以用自由基團(tuán)簇引起濺射。

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