由于等離子體中存在電子、離子和自由基等活性粒子,天津等離子處理機批發它們很容易與固體表面本身發生反應。反應的種類可分為物理反應和化學反應。物理反應主要以沖擊的形式將污染物與表面分離,然后通過氣體將它們帶走?;瘜W反應是活性粒子之間的反應。產生揮發物并被帶走的污染物。在實際使用過程中,通常使用Ar氣進行物理反應,使用O2或H2進行化學反應。圖1為反應原理示意圖。等離子清洗的效果通常在滴水試驗中直觀地體現出來。
簡而言之,天津等離子體清洗機廠家電話等離子體清洗技能結合了等離子體物理、等離子體化學和氣固兩相界面反應,能夠有效鏟除殘留在資料外表的有機污染物,并確保資料的外表及本體特性不受影響,現在被考慮為傳統濕法清洗的首要替代技能。 更重要的是,等離子體清洗技能不分處理目標的基材類型,對半導體、金屬和大多數高分子資料均有很好的處理效果,并且能夠完成整體、部分以及復雜結構的清洗。
等離子表面處理機在塑料橡膠行業的應用:聚丙烯、聚四氟乙烯等塑料材料是非極性的,天津等離子體清洗機廠家電話這使得工業應用中的一些塑料制品在沒有表面粘合的情況下,不經過等離子表面處理就很難粘合。 ,印刷、涂膠、涂膠等工藝都非常低效甚至不可能。一些工藝在制造過程中使用一些化學品來處理這些橡膠和塑料的表面。這樣可以改變粘合效果,但是這種方法難學,化學品本身有毒,操作非常復雜,成本高。此外,化學品會影響橡膠和塑料材料固有的優越性能。
對于實際的原子層蝕刻過程中每一個循環的反應A和B而言,天津等離子體清洗機廠家電話理想的單層自限制蝕刻過程很難被實現。反應A包括4種不同的表面改性機理,分別為化學吸附、沉積、轉換和剝離。反應B大多需要等離子體輔助,運用離子進行各向異性蝕刻,得到高深寬比的蝕刻結構。等離子表面處理機從原子層蝕刻開發到目前為止,已經被證明適用于二十多種不同的材料,包括半導體、絕緣體和金屬等。相信在不久的將來,它會被應用于更多的材料蝕刻。。
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