-帶寬電壓、漏電流等參數。具有天線元件結構的大面積離子收集區（多晶或金屬）通常放置在厚場氧化物之上，電池等離子清潔機器因此只需要考慮隧穿對薄柵極氧化物的影響。...收集區的大面積稱為天線，由于天線元件產生的隧穿電流增加的倍數等于厚磁場氧化物收集區的面積與大門。氧化區稱為天線比。如果柵氧化區面積小，柵區面積大，大面積柵收集的離子會流向小面積柵氧化區。為了保持電荷平衡，基板也必須跟隨增加。

在等離子體系統中，鋰電池等離子體表面處理設備許多類型的活性粒子會引起許多反應，因此在反應過程中幾乎不可能操縱特別重要和決定性的粒子。在等離子體環境中，高能粒子可以破壞分子中的共價鍵。高能電子參與電子能量分布函數的尾部以及非平衡等離子體中存在的強局部電場可能完成新的化學反應。..等離子體環境適用于許多化學反應。產生特定反應的能力主要取決于輸入過程參數，例如氣體類型、流速、壓力和輸入功率。邊界和基地之間也有各種影響。

所謂火焰處理，電池等離子清潔機器就是利用一定比例的混合氣體，利用專用燈座，使火焰與聚烯烴表面直接接觸的一種表面處理方法。在成幀法中，將羥基、羰基、羧基等含氧極性基團和不飽和雙鍵引入聚烯烴材料表面的污垢中，去除（去除）薄弱的界面層，顯著（去除）鍵。顯然）它也可以改進。影響。 ）。影響火焰處理效果（效果）的主要因素有燈座類型、燃燒溫度、處理時間、燃燒氣體比例等。影響流程的因素很多，會使操作流程要求嚴格，稍有不慎。

可見，鋰電池等離子體表面處理設備紫外燈發出的185nm紫外光可作為氧化劑，而紫外燈發出的254nm紫外光可作為光解反應順利進行的必要條件。然而，紫外燈產生臭氧層的能力非常低。例如，最常用的臭氧紫外燈有150WU的形狀。如果氧氣充足，每個小劑量只有6毫克/瓦。臭氧是光解反應中的重要反應物，產生的臭氧量直接影響處理效果。等離子技術利用高壓電場將空氣中的 O2 電離生成 O3，其效率遠高于紫外燈。

鋰電池等離子體表面處理設備

完全去除后，其去污力可達到分子水平。在一定條件下，樣品的表面性質也可以改變。使用氣體作為清潔劑可有效防止樣品再次污染。等離子清洗劑不僅可以提高樣品的附著力、相容性和潤濕性，還可以對樣品進行殺菌消毒。等離子清潔劑現在廣泛用于光學、光電子學、電子學、數據科學、聚合物、生物醫學、微流體等。

電池等離子清潔機器