等離子加工設(shè)備的真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)為了使大尺寸PCB進(jìn)行低溫等離子加工，鐵件電鍍后噴粉沒附著力設(shè)計(jì)了一臺(tái)大型等離子加工設(shè)備。該設(shè)備具有真空度可調(diào)的真空系統(tǒng)、電極冷卻的供電系統(tǒng)、基于可編程控制器(PLC)和觸摸屏的控制系統(tǒng)。本文簡要介紹了大型等離子體加工設(shè)備的組成和工作方式，詳細(xì)闡述了真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，包括真空泵組的選型計(jì)算和基于有限元的真空室結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)。實(shí)踐證明，該設(shè)備具有產(chǎn)生視覺快、腔溫控制效果好等特點(diǎn)，已達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平。

加熱到幾萬度后，鐵件電鍍后噴粉沒附著力就會(huì)變成物質(zhì)的第四個(gè)條件--等離子體！無論是大氣（常壓）還是真空（低壓），在數(shù)據(jù)外修時(shí)都會(huì)引入工藝氣體，如無水無油的潔凈壓縮空氣，有一定純度要求的氮?dú)狻⒀鯕狻鍤獾取?/p>

由于歐美的發(fā)展戰(zhàn)略已轉(zhuǎn)向汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)等毛利率較高的領(lǐng)域，電鍍后噴漆 附著力并逐步退出功率二極管業(yè)務(wù)，而臺(tái)灣廠商尋求穩(wěn)定運(yùn)行，但產(chǎn)能擴(kuò)張相對(duì)保守。相比之下，中國大陸功率二極管具有較高的性價(jià)比，依托較強(qiáng)的成本控制能力在中低端品類逐步開放商場(chǎng)，接近中國龐大的下游商場(chǎng)，需求響應(yīng)快，服務(wù)到位等經(jīng)營優(yōu)勢(shì)，因此在鄉(xiāng)鎮(zhèn)需求巨大，國內(nèi)替代確認(rèn)，產(chǎn)能繼續(xù)開放的發(fā)展戰(zhàn)略簡而言之，中國電力二極管預(yù)計(jì)將接受全球產(chǎn)能轉(zhuǎn)移的局面。

在交變電場(chǎng)的攪動(dòng)下，鐵件電鍍后噴粉沒附著力區(qū)域內(nèi)的氣體產(chǎn)生等離子體。活性等離子體對(duì)被清洗物表面進(jìn)行物理轟擊和化學(xué)反應(yīng)，使被清洗物表面物質(zhì)變成顆粒和氣態(tài)物質(zhì)，抽真空排出，達(dá)到清洗目的。

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簡單來說，該自動(dòng)清洗平臺(tái)是多片同時(shí)清洗，優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備成熟，容量大，而單片清洗設(shè)備是一塊清洗，優(yōu)點(diǎn)是清洗精度高，背面、斜面和邊緣都可以有效清洗，同時(shí)避免晶圓之間的交叉污染。在45nm之前，自動(dòng)清洗臺(tái)就可以滿足清洗要求，目前仍在使用;45以下的工藝節(jié)點(diǎn)依靠單片清洗設(shè)備來實(shí)現(xiàn)清洗精度要求。隨著工藝節(jié)點(diǎn)的不斷減少，單片晶圓清洗設(shè)備是當(dāng)前可預(yù)見技術(shù)下未來清洗設(shè)備的主流。

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