用于天然金剛石諧振器生長的常用MPCVD方法有不銹鋼諧振器型和石英鐘罩型。石英鐘罩型有利于天然金剛石膜的大面積生長，PC表面活化但生長速度慢且容易污染石英管，而不銹鋼諧振器型設備則具有生長速度快的特點。。隨著THIN NB趨勢的臨近，預計HDI的引入速度將會加快。隨著等離子設備/等離子清洗的流行帶來的國內經濟需求，鈮市場的影響力能否持續到2021年備受外界關注。
中性粒子的溫度接近室溫，pc表面活化處理工藝這些優點為熱敏聚合物的表面改性提供了合適的條件。低溫等離子表面處理使材料表面發生各種物理化學變化，蝕刻和粗糙化，形成高密度交聯層，或親水性和粘附性、染色性、生物相容性、電學特性得到改善。。1. 反應式A(s)+B(g)→C(g)的反應及工藝應用對于這類等離子表面處理設備的應用，比較成熟的有等離子刻蝕PE、等離子灰化。是PA，等離子化學蒸汽輸送是PCVT。
材料:玻璃、硅、石英、聚碳酸酯(PC)、聚乙烯醇萘(PEN)、聚酰亞胺(PI)、聚乙烯(PET)等，pc表面活化處理工藝可作為OFET襯底。無機基板，如玻璃、硅和石英，具有熔點高和外觀光滑的優點。盡管聚合物基質表面粗糙，但這些材料的突出優勢是它們具有柔性和柔韌性，如聚乙烯萘(PEN)和聚乙烯(PET)。在制備階段，需要對基體數據進行PLSAMA等離子體處理，去除基體表面雜質，提高表面活性。
