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而在今日生產過程當中，超疏水表面改性等離子表面處理機低溫等離子體蝕刻工藝不能廣泛應用的主要難點在于在實際生產過程當中非常難把晶圓襯底保持在很低的反應溫度，整個蝕刻反應腔體將會非常復雜，并且在工藝中改變硅晶圓溫度需要耗費相當長的時間，從而使得這種有效的高長寬比蝕刻工藝不能進入到工業應用當中。。最近幾年以來，等離子表面處理機（點擊了解詳情）超疏水納米涂層的自清潔表面涂層在現實中的應用非常廣泛。
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