因此，鈦表面改性的方法當氨基數目較大時，很難檢測出氮化鈦。氨和氮在等離子體室中電離。拋光后的鈦片表面沒有氧化膜，但在空氣中很快就會形成氧化膜。射頻(rf)等離子體蝕刻機的氮、氫等離子體腔(如- NH2。- NH。N等)將過渡鈦表面,使氧化鈦鍵斷裂,同時氫等離子體氧化鈦表面的形成,純鈦的表面的部分將是等離子體的暴露于大氣中,高能氮和氫等離子體和鈦絲焊接,Ti-NH2等新債券。錫或錫。N-O形成。

RF等離子處理器的等離子室中的氮氫等離子體（-NH2、-NH、N等）與鈦表面碰撞，對二氧化鈦表面改性使鈦-氧鍵斷裂，產生的氫等離子體為表面：部分在表面. 氧化鈦，即純鈦，暴露在等離子體氣氛、高能氮和氫等離子體中。它與鈦復合形成新的鍵，如 Ti-NH2、TiN 或 TiN、NO。由于 H 的減少，表面層也可以形成 Ti-OH 鍵。

例如，鈦表面改性的方法對生物聚合物進行電漿清洗機表面處理，可以在不改變聚合物表面粗糙度的情況下引入官能團，引起接枝聚合，提高涂層附著力，形成分子交聯。 本實用新型能實現鈦制裝置的表面清潔消毒，為后續的等離子聚合處理帶來了較好的出發點。電漿清洗機處理后的鈦表面可大大改善細胞附著。。

前者是離子蝕刻（RIE）制版技術。操作過程如下。 (1)在晶片表面沉積一層厚度均勻的金屬層。 (2) 接下來，對二氧化鈦表面改性均勻地涂在表面上。光刻膠 使用一層光刻膠； (3)電路圖案通過光學手段傳遞到光刻表面，從而改變其溶解度； (4)用反應性蝕刻劑和掩膜層去除可溶部分； (5)去除金屬蝕刻而不保護掩模層； (6)用等離子剝離法去除光刻膠； (7)通過沉積二氧化硅或氮化硅使表面鈍化。

鈦表面改性的方法

工件外表的污染物，如油脂、助焊劑、感光膜、脫模劑、沖床油等，很快就會被氧化成二氧化碳和水，而被真空泵抽走，然后抵達清潔外表，改善浸潤性和粘結性的意圖。低溫等離子處理僅觸及資料的外表，不會對資料主體的性質產生影響。因為等離子體清洗是在高真空下進行的，所以等離子體中的各種活性離子的清閑程很長，他們的穿透和浸透力很強，能夠進行凌亂結構的處理，包括細管和盲孔。

通過等離子體產生的氧自由基非常活潑，容易與碳氫化合物發生反應，產生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發物，從而去除表面的污染物。

利用大氣等離子表面處理在金屬外表面涂上聚對二甲苯，在鋁合金表面涂鋁，這些技術常用于航天器中金屬外表面的保護。 3.提高金屬硬度和耐磨性：在等離子浸沒技術的早期應用研究中，氮等離子體主要用于處理金屬材料的表面形貌。 TiN和CrN超硬層的形成顯著提高了樣品表面的耐磨性。。

2、提高金屬表面的耐腐蝕性：現有的等離子鐵合金清潔劑可以改善鐵合金的摩擦和腐蝕性能。由于來自各個方向的等離子體同時注入到產品中，因此沒有尺寸限制，可以處理形狀復雜的樣品。使用低溫等離子表面處理機技術在金屬表面涂上聚對二甲苯、鋁涂層和其他技術，主要用于保護航天器中的金屬表面。 3、提高金屬硬度和耐磨性：等離子體浸沒離子注入的早期應用研究主要使用氮等離子體進行金屬材料的表面處理。

鈦表面改性的方法

提高金屬表面的附著力金屬專用低溫等離子表面處理機加工后，對二氧化鈦表面改性材料表面的形狀發生微觀變化，達到62達因以上時，可用于各種粘接、涂層、印刷等工藝. 同時具有去除靜電的作用。通過用于鋼合金的等離子清潔劑提高了金屬表面的耐腐蝕性，提高了它們的摩擦和耐腐蝕性。來自世界各地的離子同時注入到樣品中，沒有視線限制，可以處理形狀更復雜的樣品。采用低溫等離子表面處理機技術，在金屬表面涂上聚對二甲苯，在鋁表面涂上鋁合金。