據統計，廣東rtr型真空等離子體噴涂設備70%以上的混合集成電路產品故障是由于接合不良造成的。這是因為結區在制造過程中不可避免地會受到不同類型的污染物的污染，包括不同的有機和無機殘留物。未經處理的直接鍵合會導致虛焊、焊錫脫落、鍵合強度降低等缺陷，導致接頭應力差異較大，不能保證產品的長期可靠性。等離子清洗技術可以有效去除鍵合區的污染物，提高鍵合區的表面化學能和潤濕性。因此，引線鍵合前的等離子清洗可以顯著降低鍵合失敗率并提高產品可靠性。

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?等離子清洗plasma領域的有關的工業生產人士都知道，等離子體低溫灰化爐溫度范圍等離子設施廣泛的被適用在像半導體，生物，醫療，還有光學，平板顯示，等工業生產上面，它是利用一些活性的組分來處理樣品的表層，實現清潔，清洗，改性等作用。真空等離子清洗plasma設施適用在半導體行業已經有一定的基礎了，是因為在制程過程中在灌裝的時候出現了一些像氧化，潮濕等一系列的問題。

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廣東rtr型真空等離子體噴涂設備

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：電子、離子、激發的分子原子、自由基、光子等，它們的能量范圍為1～10eV，這是纖維材料中有機分子結合能的能量范圍，所以等離子體中的活性粒子解吸. 與纖維材料表面存在濺射、激發、蝕刻等物理化學作用，以及交聯、氧化、聚合、接枝等化學反應。 1.天然纖維和紡織品天然纖維和紡織品主要是指棉、麻、兔毛、羊毛和絲綢。

4.取兩個并顯示OK產品，一個是臟的，在同一位置暴露的ITO汗水（不戴手套，直接戴上指套，大約15分鐘后，指套有汗漬），然后打開產品腐蝕觀察（車間溫度控制范圍：22°C +/- 6 ° C，濕度控制范圍 55% +/- 15%）。產品 A 進行了等離子清洗，但產品 B 沒有。連續通電（200小時）測試后的結果如下。產品 A 在 71.5H 上電時缺少一排，在 77H 上電時缺少第二排。

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隨著能量密度從 380 kJ/mol 增加到 1500 kJ/mol，廣東rtr型真空等離子體噴涂設備C2H4 的選擇性從 36.0% 降低到 16.2%。 C2H2 的選擇性從 55.4% 下降到 24.2%。表 3-5 給出了能量密度對氣體產品 C2H4/C2H2 比和 H2/CO 比的影響。不同能量密度下C2H4/C2H2比和H2/CO比值在0.63~0.68和2.47~2.91范圍內變化。

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