同時，硬板等離子體去膠機這些懸空鍵以 OH 基團的形式存在，從而形成穩定的結構。浸漬（有機）或無機堿退火后，表面Si-OH鍵脫水并會聚形成硅-氧鍵。這提高了晶體表面的潤濕性，使晶體成為可能。對于材料的直接鍵合，親水晶片表面在自發鍵合方面優于疏水晶片表面。
例如，硬板等離子表面處理設備正負電荷的分離會產生一個靜電場，其庫侖力是恢復力，從而產生朗繆爾波。白化波是通過彎曲磁力線產生的，其中張力是恢復力。波的各種梯度，如等離子體密度梯度和溫度梯度，都會引起漂移運動，它可以與波的模式相結合，產生漂移波。波可分為冷等離子體波和熱等離子體波。
隨著溫度的升高，硬板等離子表面處理設備物質從固態變為液態，從液態變為氣態。當氣體溫度升高時，氣體分子被分離成原子。隨著溫度繼續升高，原子核周圍的電子與原子分離，形成離子（正電荷）和電子（負電荷）。這種現象稱為“電離”。通過電離而帶有離子的氣體稱為“等離子體”。因此，等離子體通常被歸類為“固體”、“液體”、“氣體”等自然物質狀態之外的“第四態”。
非彈性碰撞導致激發（分子或原子中的電子從低能級躍遷到高能級）。能級）、解離（分子分解成原子）或電離（分子或原子從外部電子的鍵合狀態變為自由電子）。熱氣體通過傳導、對流和輻射將能量傳遞到周圍環境。在穩態下，硬板等離子體去膠機特定體積的輸入能量和損失能量相等。電子與重粒子（離子、分子、原子）之間的能量轉移率與碰撞頻率（每單位時間的碰撞次數）成正比。
硬板等離子體去膠機
25ML/分鐘速度。從表3-4可以看出，C2H4和C2H2的選擇性隨著CO2的增加和添加量的增加而單調下降。因此，乙烷的轉化率隨著CO2添加量的增加而增加，但C2H4和C2H2的總收率增加。峰形發生變化。當 CO2 添加量為 50% 時出現極值。另一方面，活性氧進一步與乙烯和乙炔反應以裂解CH鍵并形成CO和碳沉積物。當 CO2 的添加量很大時，這種現象尤其明顯。
