官能團的極性增加。

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CH4 + E * & MDASH;> CH3 + H + E (3-1) CH3 + E * & MDASH;> CH2 + H + E (3-2) CH2 + E * & MDASH;> CH + H + E (3-3) CH + E * & MDASH;> C + H + E (3-4) CH4 + E * & MDASH;> CH2 + 2H (H2) + E (3-5) CH4 + E * & MDASH;> CH + 3H (H2 + H) + E (3-6) CH4 + E * & MDASH; C + 4H (2H2) + E (3-7) 自由基和下一個產品 A 之間的耦合發生反應。

測得的缺陷形成率是施加到柵極氧化物的電壓的冪函數。因此,氬氣等離子體清洗設備故障時間與電壓的關系為TF = B0V-n (7-12)。如果氧化層足夠薄,缺陷形成率與氧化層厚度無關,但臨界缺陷密度會導致氧化層斷裂。它強烈依賴于氧化層。層厚度。對于low-k材料TDDB,也有對應的root E模型。將不同模型的擬合曲線與同一組加速 TDDB 測試數據進行比較。

當水滴放置在光滑的固體表面上時,氬氣等離子體除膠機水滴在基材上擴散,完全濕潤時,接觸角接近于零。相反,如果潤濕是局部的,則接觸角可以平衡在 0 到 180 度之間。固體基質的表面能對液體表面張力的影響越大,其潤濕性越高,接觸角越小。為了使液體與材料表面形成良好的結合,材料的液體張力應大于約2-10 mN/m。此類高分子材料具有化學惰性、低摩擦系數、高耐磨性、抗穿刺性和抗撕裂性。

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噴漆后,將塑料件的油漆層切割成網格。接下來,將量規膠帶粘貼到切割好的網格上,牢固地粘貼膠帶,然后再次將其撕下。如果膠帶上有油漆,則油漆粘得不好。切割網格以顯示塑料零件上油漆層的粘合強度。使用測試墨水來估計如何測量表面能。將測試墨水涂在表面后,如果將其存儲在一個地方,則固體的表面能較低。談到油墨的表面能,如果保持濕潤,固體的表面能將大于液體的表面能。可以使用一系列具有梯度表面特性的測試油墨來確定固體的總表面張力。

氬氣等離子體清洗設備

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