隨著微電子技術的發展，金屬表面噴砂處理等離子體清洗的優勢越來越明顯。介紹了等離子體清洗的特點和應用，討論了其清洗原理和優化設計方法。然后分析了等離子體清洗工藝的關鍵技術和解決方案。等離子體清洗的特點是無論被處理對象的襯底類型如何，都可以進行處理，還可以很好地處理金屬、半導體、氧化物、有機材料和大多數高分子材料，只需要很低的氣體流量，可以實現整體、局部和復雜結構的清洗。

等離子體處理器表面處理所用的工藝氣體有氧氣、氬氣、氮氣、壓縮空氣氫氣、四氟化碳等，金屬表面噴砂處理常用的有氧氣、氫氣和氮氣。等離子體處理器技術選擇的氣體就是這三種工藝氣體。我們應該注意些什么？怎么選？1.所選氣體為氧氣：氧主要用于高分子材料的表面活化和有機污染物的去除，但不能用于金屬表面的易氧化。

實施例1:O2+e&Rarr；2O*+E-O*+有機物&RARR；CO2+H2O從反應公式中可以看出，金屬表面噴砂處理氧等離子體可以通過化學反應將非揮發性有機物轉變為揮發性的H2O和CO2。實施例2:H2+e&Rarr；2H*+E-H*+非揮發性金屬氧化物；RARR；金屬+H2O從反應公式可以看出，氫等離子體可以通過化學反應去除金屬表面的氧化層，清潔金屬表面。

真空等離子體處理設備的特點具有穩定、性價比高、操作簡單、使用成本極低、易于維護等特點。對金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等各種幾何形狀、不同外表面粗糙度的物體外表面進行超清洗改性，金屬表面涂層處理去除物體外表面有機污染物，定期快速處理，清洗效率高，綠色環保，不使用化學溶劑，對物體和環境無二次污染，常溫超級清洗，對物體無損處理。

金屬表面涂層處理

一種是利用各種表面改性技術產生新的表面活性層，從而改變表面和界面的基本特性。另一種方法是利用功能膜或表面成型技術對原表面進行涂覆。兩者的目的都是使材料具有多種表面性質或同時具有。因此，開發了許多可用的表面處理技術。如化學濕法、電子束或紫外干法、表面活性劑添加劑、真空蒸金屬化等。而干法處理技術采用等離子表面處理設備。它不僅可以改變表面結構，控制界面的物理特性，還可以根據需要涂膜。

第五步：等待等離子清洗機完成清洗時間和泄壓，打開腔門，用鑷子取出清洗后的金屬材料樣品，放在白紙上。第六步：用移液槍將幾滴蒸餾水逐漸滴到清洗后的重油漬金屬材料上，仔細觀察水滴的形狀和擴散情況。然后與測試結果對比，清洗前滴在金屬表面的水滴呈圓形，形成一滴90度接觸角的水滴，清洗前金屬材料是疏水性的。

拋光后的靶材表面通常涂有涂層（也叫犧牲層，通常是有機黑漆、膠帶或鉛、鋅、鋁等薄金屬箔）。利用較高的峰值功率密度，將短脈沖光束通過聚焦透鏡聚焦成毫米級光斑，再通過透明約束層（通常是水或玻璃）照射到鍍膜表面。涂層充分吸收高能能量，在極短時間內爆炸性汽化。蒸氣繼續吸收能量產生高壓等離子體層，其向外彈射受到約束層的約束，爆炸產生高壓沖擊波，從而產生從靶面向內傳播的強應力波。

經過等離子表面處理后，不僅可以增強對膠水的適用性，還可以不依賴專用膠水實現高質量粘接。而且，提高了表面的鋪展性能，防止了氣泡等的產生。最重要的是，經過常壓等離子體處理后，紙箱生產企業可以得到成本更低、效率更高的高檔產品。表面清洗活化及涂層等離子體處理技術大氣等離子體處理是最有效的表面清潔、活化和涂層工藝之一，可用于處理各種材料，包括塑料、金屬或玻璃。

金屬表面涂層處理

2.適應性廣：不管要處理的基板類型，金屬表面的漆怎么除掉都可以處理，如玻璃、金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料。3.低溫：接近常溫，不會破壞玻璃表面原有特性。4.成本低：裝置簡單，操作維護方便，可連續運行。5.處理后的玻璃形狀不限：大的或小的，簡單的或復雜的，都可以處理。