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等離子清洗的技術原理如下：1、在密閉的真空腔體中，通過真空泵不斷抽氣，使得壓力值逐漸變小，真空度不斷提高，分子間的間距被拉大，分子間作用力越來越小，利用等離子發生器產生的高壓交變電場將Ar、H2、N2、O2、CF4等工藝氣體激發、震蕩形成具有高反應活性或高能量的等離子體，進而與有機污染物及微顆粒污染物反應或碰撞形成揮發性物質，由工作氣體流及真空泵將這些揮發性物質清除出去，從而達到表面清潔、活化、刻蝕等目的。

　　2.等離子清洗原理：　　等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特殊的情況下有第四中狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質：處于高速運動狀態的電子；處于激活狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。

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等離子清洗屬于干法清洗中常見的一種形式，廣東等離子體除膠機價格其原理是將暴露在電子區域的氣體形成等離子體所產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或刻蝕表面。某種程度來講，等離子清洗實質上是等離子體清洗的一種較輕微的情況。氣體被導入并與等離子體進行交換。等離子在工件表面發生反應，反應的揮發性副產物被排出。