2. 聚合物清洗① 聚合物的表面清洗等離子消融作用通過高能的電子和離子對材料表面的轟擊，提高玻璃瓶表面涂層附著力機械地去除污物層。等離子表面清洗可去除可能存在于某些加工過的聚合物的污物層，不需要的聚合物表面涂層和弱的邊界層② 聚合物的表面重組等離子消融作用中使用的惰性氣體破壞了聚合物表面的化學鍵從而導致聚合物表面自由官能團的形成。

在醫療材料和醫療器械領域，提高玻璃瓶表面涂層附著力很多產品已經采用等離子表面處理工藝，例如心臟瓣膜和心血管支架的表面涂層預處理、人工耳蝸粘連、隱形眼鏡清洗和功能涂層等。 離子表面處理包括針頭在接合前的表面清潔、蝕刻、涂層、聚合和去除（化學），以及醫用無紡布的功能涂層。處理過程干燥，無新雜質引入，安全有效。

7. 等離子涂層和聚合 在涂層過程中，提高玻璃瓶表面涂層附著力兩種氣體一起進入反應室，氣體在等離子環境中會聚。這種使用比激活和清潔要求更嚴格。典型應用是形成用于燃料容器的保護層、耐刮擦表面、PTFE 等材料的涂層、防水涂層等。涂層很薄，通常只有幾微米，此時表面親和力非常好。。等離子清洗劑可以改變氮化硅層的形態-等離子清洗劑/表面處理等離子清洗劑可以提供表面清潔、表面活化、表面蝕刻和表面涂層功能。洗衣機可實現多種處理效果。

一種等離子體清洗機的干蝕刻系統，提高玻璃瓶表面涂層附著力包括:用于容納等離子體的腔體，腔體上方的石英盤，石英盤上的多個磁體，驅動多個磁體旋轉的旋轉機構，其中多個磁體產生隨該磁體旋轉的磁場。進一步提高粒子碰撞頻率可以獲得更好的等離子體均勻性和等離子體濃度。。

面涂層附著力評級

這會導致鍵合線的抗拉強度不同，但有利于提高器件的可靠性。在芯片封裝中，大氣壓等離子清潔器中的等離子在接合前清潔晶圓和載體，以提高表面活性。這可以有效地防止或減少空隙并提高粘合性能。此外，增加了填充邊緣的高度，提高了IC封裝的機械強度，降低了界面間因熱膨脹系數不同而產生的剪切應力。這提高了產品的可靠性和使用壽命。。

可以看出，電感耦合蝕刻等離子體清洗裝置的蝕刻均勻性和側壁形狀的可控性遠優于電容耦合裝置。這是因為偏置側壁寬度均勻性和側壁側壁形狀控制好，所以晶體管均勻性好。環形振蕩器導致的產量降低清楚地證明了這一點。等離子清洗設備的電感耦合刻蝕大大減少了由于環形振蕩器導致的良率下降，大大提高了良率。

高頻感應等離子體發生器；又稱高頻等離子炬，或射頻等離子炬。它利用無電極的電感耦合，將高頻電源的能量輸入到連續氣流中進行高頻放電。高頻等離子體發生器及其應用過程具有以下新特點：（1）只有線圈，沒有電極，不存在電極損耗問題。該發生器能產生極其純凈的等離子體，其持續使用壽命取決于高頻電源的電真空裝置壽命，一般較長，約2000～3000小時。

自由基的作用主要表現在化學反應過程中的能量傳遞的“活化”作用，處于激發狀態的自由基具有較高的能量，因此易于與物體表面分子結合時會形成新的自由基，新形成的自由基同樣處于不穩定的高能量狀態，很可能發生分解反應，在變成較小分子的同時生成新的自由基，這種反應過程還可能繼續進行下去，最后分解成水，二氧化碳之類的簡單分子，在另一些情況下，自由基與物體表面分子結合的同時，回釋放出大量的結合能，這種能量又成為引發新的表面反應的推動力，從而引發物體表面上的物質發生化學反應而被去除。

提高玻璃瓶表面涂層附著力

等離子清洗的工作原理是通過將注入氣體激發成等離子體，面涂層附著力評級等離子體由電子、離子、自由基、光子以及其他中性粒子組成。由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子存在，其本身容易與固體表面發生反應。反應類型可以分為物理反應和化學反應，物理反應主要是以轟擊的形式使污染物脫離表面，從而被氣體帶走；化學反應是活性粒子與污染物發生反應，生成易揮發物質再被帶走。

LED封裝過程中，面涂層附著力評級基板、支架等器件表面存在有機污染物、氧化層等污染物，影響整個封裝過程的良率，對產品造成不可逆轉的損害，我什至可能給.案子。為了保證整個工藝和產品的質量，上述問題通常通過在銀膠、引線鍵合、LED封膠三道工序之前引入等離子表面處理的等離子清洗裝置來解決，將徹底解決。