等離子體有別于固體、液體、氣體三態物質, 是宇宙中最廣泛存在的物質狀態, 稱為物質的第四態。 等離子體含有各類活性粒子, 如離子、電子、自由基、激發分子、紫外光等。

這些高能電子與甲烷分子發生非彈性碰撞，電子產品噴漆附著力標準進而生成大量的活性物種及活性自由基，自由基再進一步碰撞結合生成 新的物質。

　　在進行等離子刻蝕操作時，電子產品噴漆附著力標準其射頻電源所產生的熱運動會使質量小、運動速度快的帶負電自由電子很快抵達陰極，而正離子則是由于質量大、速度慢而很難在同一時刻到達陰極，然后就會在陰極附近構成帶負電的鞘層，正離子在這個鞘層的加快之下，就會筆直的轟擊在硅片的表面，然后使得表面的化學反應加快，而且會使得反應生成物脫離，因而其刻蝕速度極快，離子的轟擊也會使各向異性刻蝕得以實現。

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離子在宇宙的其他地方很豐富，但僅限于地球上的某些環境中。自然產生的離子包括閃電和極光。正如將固體變成氣體需要能量一樣，產生離子也需要能量。隨著溫度的升高，物質從固態變為液態，液態變為氣態。當氣體溫度升高時，氣體分子被分離成原子。隨著溫度繼續升高，原子核周圍的電子與原子分離，形成離子（正電荷）和電子（負電荷）。這種現象稱為“電離”。通過電離而帶有離子的氣體稱為“等離子體”。

（1）化學反應化學反應中常用的氣體有氫氣(H2)、氧氣(02)、甲烷(CF4)等，這些氣體在等離子體中反應成高活性自由基，方程是這些自由基會進一步與材料表面發生反應。其反應機理主要是利用等離子體中的自由基與材料表面反應。壓力較高時，有利于自由基的產生。因此，如果化學反應是主要反應，就需要控制較高的壓力來反應。

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