1、硅片表面改性（硅片表面改性機械性能）OTS作硅片表面改性 常用的清洗技術有濕法清洗和干洗兩大類，硅片表面改性機械性能濕法清洗仍是行業的主流，占清洗步驟的90%以上。濕法工藝是指用耐腐蝕和氧化性的化學溶劑對缺陷進行噴射、擦洗、蝕刻等隨機處理，并將雜質溶解在晶圓表面與反應溶劑直接生成可溶性物質、氣體或損耗，并使用超純水清洗硅表面并干燥，滿足硅片的潔凈度要求。為...
2、arcotec電暈機（德國arcotec電暈處理器） 采用交流時，arcotec電暈機只能選擇電信規定的科研和工業使用頻段(MF)40kHz、高頻(HF)13.56MHz、微波頻率(MW)2.45CHz，否則會干擾無線帶電信件。一般是等離子體的產生和材料的位置。合理的效果（結果）與以下幾個方面有關。等離子體清洗一般采用工藝氣體，活（化）氣可分為兩類。類...
3、電暈處理的otr（山西低溫等離子電暈處理機說明書） DielectricBarrierDirection（dielectricBarrierDirection）（簡稱DBD）是指在兩個金屬電極之間放置絕緣介質，電暈處理的otr阻隔跨越板間氣隙的放電通道，使氣隙通道中的放電得以放電電不產生電弧，而是以燈絲放電的形式存在，等離子體低溫等離子體彌散在其中，...
