1、硅片表面改性(硅片表面改性機械性能)OTS作硅片表面改性 常用的清洗技術有濕法清洗和干洗兩大類,硅片表面改性機械性能濕法清洗仍是行業(yè)的主流,占清洗步驟的90%以上。濕法工藝是指用耐腐蝕和氧化性的化學溶劑對缺陷進行噴射、擦洗、蝕刻等隨機處理,并將雜質(zhì)溶解在晶圓表面與反應溶劑直接生成可溶性物質(zhì)、氣體或損耗,并使用超純水清洗硅表面并干燥,滿足硅片的潔凈度要求。為...
2、arcotec電暈機(德國arcotec電暈處理器) 采用交流時,arcotec電暈機只能選擇電信規(guī)定的科研和工業(yè)使用頻段(MF)40kHz、高頻(HF)13.56MHz、微波頻率(MW)2.45CHz,否則會干擾無線帶電信件。一般是等離子體的產(chǎn)生和材料的位置。合理的效果(結(jié)果)與以下幾個方面有關。等離子體清洗一般采用工藝氣體,活(化)氣可分為兩類。類...
3、電暈處理的otr(山西低溫等離子電暈處理機說明書) DielectricBarrierDirection(dielectricBarrierDirection)(簡稱DBD)是指在兩個金屬電極之間放置絕緣介質(zhì),電暈處理的otr阻隔跨越板間氣隙的放電通道,使氣隙通道中的放電得以放電電不產(chǎn)生電弧,而是以燈絲放電的形式存在,等離子體低溫等離子體彌散在其中,...