一些非聚合物無機氣體（Ar2、N2、H2、O2 等）在高低頻下被激發，電極表面活化能產生各種含有離子、激發分子、自由基等的活性粒子。一般來說，在等離子清洗中，活性氣體可以分為兩類。一種是惰性氣體（Ar2、N2 等）的等離子體，另一種是反應氣體（O2、H2 等）的等離子體。等離子體產生的原理如下。對一組電極施加射頻電壓(頻率約為幾十MHz)，在電極之間形成高頻交流電場，該區域的氣體被交流電場激發而產生等離子體。
稱為電暈放電，鐵電極表面如何被刻蝕活化電壓和頻率、電極間距、處理溫度和時間都會影響電暈處理的有效性。電源電壓越高，頻率越高，加工強度越高，加工效果越好。但是，如果電源頻率太高或電極間隙太寬，就會出現電極過多。如果電極間距太小，則會出現感應損耗和能量損耗。當加工溫度高時，表面特性迅速變化。處理時間越長，極性基團越多，但如果處理時間過長，則可能在表面形成分解產物，形成新的弱界面層。
辨別真空等離子清洗機正負電極板的方法如下：我們打開真空等離子清洗機的反應倉，電極表面活化能會發現里面安裝有若干電極板(亦有樣品托盤的作用)。那么哪個是正極板，哪個是負極板呢。一般來說在真空等離子清洗機反應倉的后部安裝有兩個銅電極，其中左邊為負極，右邊為正極。每個電極條上有輸出端與倉體側壁的鋁支撐對應。
當沒有施加電場時，鐵電極表面如何被刻蝕活化整個鐵電體的外部不顯示極化狀態，因為空間中的疇取向是隨機的。但是，在足夠強的外電場作用下，電場的偶極矩向外電場方向轉移。這形成了極化強度（極化電荷）和外加場強（電壓）電位回路。磁滯錢圍起來的面積代表了每單位體積鐵電體在每個電場變化...
