該裝置的設備成本不高,陶瓷plasma蝕刻機整體成本低于傳統的濕法清洗工藝,因為該清洗工藝不需要使用更昂貴的有機溶劑;http://www.92188.com.cn/asse/jinlai/chanpin/dengliziqingxiji00030.png3)http://www.92188.com.cn/asse/jinlai/chanpin/dengliziqingxiji00030.png型腔容量可定制它具有高良率的特性,因為使用批處理和等離子清洗可以在幾分鐘內完成整個清洗過程;http://www.92188.com.cn/asse/jinlai/chanpin/dengliziqingxiji00030.png4)無論被加工的材料種類如何,都具有廣泛的適用性。金屬材料、半導體器件、氧化物、玻璃、陶瓷和大多數聚合物材料可以在粘合、焊接和噴涂之前進行等離子體預處理,以獲得完全清潔、無氧化物的表面。