2、低溫等離子發生器原理 等離子發生器是通過低壓放電（輝光、電暈、高頻、微波等）產生的電離氣體。在電場的作用下，高能束表面改性技術設備氣體中的自由電子從電場中獲得能量，成為高能電子。這些高能電子與氣體中的分子和原子發生碰撞。如果電子能量大于分子或原子的激發能，則會產生激發分子或原子的自由基。不同能量的離子和來自恒星的輻射，冷等離子體中的活性粒子（可以是化學活性氣體、稀有氣體或元素金屬氣體）的能量一般為CC或其他C鍵。
中性粒子和離子的溫度為102K-103K，高能束表面改性考點對應的電子能量溫度高達105K，稱為“非平衡等離子體”或“冷等離子體”，屬電中性(準中性)。這種氣體產生的自由基和離子具有很高的活性，其能量足以打破幾乎所有的化學鍵，并在任何暴露的表面引起化學反應。等離子體中粒子的能量通常為幾到幾十電子伏，大于聚合物材料的鍵能(幾到幾十電子伏)。它可以完全打破有機大分子的化學鍵，形成新的化學鍵，但遠低于高能放射性射線。
北京告訴你等離子體增強化學氣象沉積的幾個實驗。1.微波等離子體增強化學氣象沉積金剛石薄膜實驗化學氣相沉積(CVD)是幾種氣體（大多數情況下是兩種）在高溫下發生熱化學反應形成固體的反應。由于等離子體具有高能量密度和高濃度的活性離子，高能束表面改性技術設備引起常規化學反應無法或難以實現的物理化學變化。等離子體CVD通過能量激發將工質激發到等離子體狀態，引發化學反應形成固體。
然而，高能束表面改性技術設備電離的氣體不會不一定非得是等離子體，但等離子體和普通氣體都具有滿足氣態方程等共同特性，但特性完全不同。比氬等離子體和氫等離子體。。等離子清洗機的種類很多，通常分為
