等離子體的”活性”組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

電離度在1%以上（β≥10-2）的稱為強電離等離子體，附著力5B國家標準火焰中的等離子體大部分為中性粒子（β> Ti 和 Te >> Tn，因為電子在與離子和中性粒子碰撞的過程中幾乎沒有損失能量。這種等離子體稱為冷等離子體。當然，即使在高壓下，也可以在不引起電暈放電和電弧滑動射流放電等熱效應(yīng)的短脈沖放電模式下產(chǎn)生低溫等離子體。在大氣壓下輝光放電技術(shù)也成為世界各國研究的熱點。

PLASMA等離子體與催化劑作用機理初探：PLASMA等離子體與各種催化劑作用下CO2氧化CH4為C2烴的反應(yīng)研究結(jié)果表明，附著力5B國家標準PLASMA等離子體與催化劑作用機理純. 它不同于正常的等離子體和正常的催化劑活化。相比之下，純等離子等離子體作用下CH4轉(zhuǎn)化反應(yīng)的CO2氧化是自由基過程，目標產(chǎn)物選擇性低，催化劑無催化活性。低于 80°C。

是一家專業(yè)從事等離子表面處理設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè)。依托十余年等離子體表面處理設(shè)備制造行業(yè)經(jīng)驗，附著力5B國家標準以及與國際知名等離子體相關(guān)配件廠商的良好合作，設(shè)計研發(fā)了BP-880系列真空等離子體表面處理設(shè)備，產(chǎn)品質(zhì)量和表面處理效果完全可以替代進口，一舉打破了同類產(chǎn)品完全從美國、日本、德國等國家和臺灣地區(qū)進口的局面。

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近期，GLOBALFOUNDRIES 接二連三的蓬勃發(fā)展，GLOBALFOUNDRIES 誕生，與新加坡特許公司合并，三星、英特爾等公司也涉足代工領(lǐng)域。。表面處理需要在處理過程中對許多半導(dǎo)體材料進行清洗和蝕刻，以確保產(chǎn)品質(zhì)量。因此，在半導(dǎo)體行業(yè)，低溫等離子清洗技術(shù)和半導(dǎo)體真空低溫等離子清洗應(yīng)用越來越受到關(guān)注。冷等離子清洗是半導(dǎo)體封裝制造行業(yè)常用的化學(xué)形式。

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