由于等離子體清洗是在高真空下進行的，什么是附著力評定各種活性離子在等離子體中的自由程很長，它們的穿透性和滲透性都很強，可以進行復雜結構的處理，包括細管、盲孔等。引入官能團：通過N2、NH3、O2、SO2等氣體等離子體處理，可以改變高分子材料表面的化學組成，引入相應的新官能團如-NH2、-OH、-COOH、-SO3H等。

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由于等離子清洗是在高真空下進行的，什么是附著力內聚力毛細管等離子中各種活性離子的空閑行程長，其穿透力和穿透力很強，可以處理細管、盲孔等雜亂結構。 官能團介紹：聚合物材料用N2、NH3、O2、SO2等氣體等離子體處理。這改變了表面的化學成分并引入了相應的新官能團（-NH2、-OH、-COOH、-）。

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高真空室內部的氣體分子被電能激化，被加速的電子互相碰撞使原子、分子的最外層電子被激化脫離軌道，生成離子或反應性比較高的自由基。

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