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等離子只能將表面蝕刻到幾微米的深度,它的表面特性會(huì)發(fā)生變化,但大多數(shù)材料的表面特性會(huì)保持不變。該技術(shù)還可用于表面清潔、硬化、粗糙化、親水性和附著力變化等。它也可以用于半導(dǎo)體集成電路的制造過(guò)程中,可以用電子顯微鏡觀察樣品變薄?;瘜W(xué)反應(yīng)可以通過(guò)化學(xué)濺射產(chǎn)生揮發(fā)性產(chǎn)物。常見(jiàn)的氣體包括 Ar、He、O2、H2、H2O、CO2、Cl2、F2 和有機(jī)蒸氣。非活性離子濺射比具有化學(xué)反應(yīng)的等離子體濺射更接近物理過(guò)程。
無(wú)論是在芯片源離子的注入、晶體元件的涂層,還是我們的低溫等離子體表面處理設(shè)備中還可以達(dá)到的:在晶體元件表面去除氧化膜、有(機(jī))物、去掩膜等超凈化處理和表面活性(化)。 等離子蝕刻機(jī)的應(yīng)用包含等離子清洗、焊接前芯片載體等離子蝕刻機(jī)、封裝和倒裝芯片。微波平面等離子蝕刻機(jī)是專(zhuān)為大基板的均勻處理而設(shè)計(jì)的,可擴(kuò)展到更大的面板尺寸。
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等離子清潔劑也是清潔過(guò)程中的一個(gè)重要問(wèn)題。過(guò)去,廣東小型真空等離子表面處理機(jī)品牌干洗使用了多種材料。質(zhì)量無(wú)法清洗,或清洗效果(效果)難以達(dá)到技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。等離子清洗可以處理多種材料,無(wú)論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物還是聚合物材料(聚丙烯、聚乙烯、聚四氟乙烯、聚酯、環(huán)氧樹(shù)脂等)。紙漿清潔。因此,它特別適用于不耐熱和不耐溶劑的材料。此外,您可以選擇材料的整體、部分或復(fù)雜結(jié)構(gòu)。清潔產(chǎn)品時(shí),可能不僅僅是清潔物體表面。您經(jīng)常想改變產(chǎn)品的表面。