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如何判斷它是否是真正的低溫等離子體技術?你不需要了解冷等離子體技術就能知道它的真假,等離子調高器不自動調高但有兩個簡單的規則:(1)煙氣處理通道必須充滿低溫等離子體。這個判斷規則很簡單,只要眼睛觀察加工通道是否充滿紫藍色放電,就可以直觀的知道是否是低溫等離子體(重要的是要注意各種顏色的光作為低溫體放電)。如果煙氣處理通道中只有零星分布的排放點或排放線,低溫等離子體處理效果非常有限。
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等離子體是一種部分電離的氣體,等離子調高器不自動調高由帶電粒子如正離子、負離子、自由電子和中性粒子如激發態分子和自由基組成。因為它的正電荷和負電荷總是相等的,所以被稱為等離子體。一些非化合無機氣體(Ar、N2、O2等)在高頻、低壓下被激發,產生含有離子、被激發分子、自由基等活性粒子的等離子體。
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整個過程依靠等離子體在電磁場中的運動對物體表面進行轟擊,其中大部分需要高能低電壓的物理清洗。在它到達表面之前,原子和離子的速度達到。因為等離子體在加速,它需要大量的能量,所以等離子體中的原子和離子可以加速。要增加原子碰撞前的平均距離,也就是說,路徑越長,離子轟擊干凈產品表面的機會就越大,需要低電壓。
氣體流量一般對VDC影響不大,但如果采用混合氣體,當氣體相對流量增大時,VDC單調增大,一般來說,加入弱電負性氣體時,負偏置會急劇增大。對于電負性氣體放電,小的流量變化對VDC的影響不大。2.1.2.2 pressusure也影響VDC,壓力高,更多的分子、原子和電電子和離子在碰撞時產生,從而通過增加更多的自由電子和增加負偏置來增加壓力。
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由于ch3-ch3鍵的鍵能為3.8eV, ch3ch2-h鍵的鍵能為4.2eV(等離子體中電子的平均能量為6eV),等離子調高器顯示碰撞所以等離子體對C2H6分子的解離方式為:C2H6 + e* CH3 + CH3 + e (3-38)C2H6 + e* C2H5 + H + e (3-39) CO2分子與高能電子的非彈性碰撞導致c-O鍵斷裂,產生活性氧:CO2 + e* CO + O- (3-40)CO2 + e* CO + O +e(3-41)活性氧與C2H6分子非彈性碰撞形成C2H4和C2H2:C2H6+0 C2H4+H2OC2H6+O- C2H4+H2O+e (3-42)C2H6+ 2oC2H4+H2O C2H6+2O-C2H2+2H2O+2e(3-43)因此,隨著CO2加入量的增加,更多的氧與乙烷反應生成乙烯和乙炔。