在活塞位置 I 和 II 處，法蘭噴鋅電附著力比鋼板差吸氣法蘭中的容積將會增大。將活塞繼續旋轉到位置 lll 時，部分容積將被從吸力側密封。在位置 IV 處，將該容積打開至出口側，現有氣體將會在預真空壓力（高于吸入壓力）下涌入。涌入的氣體將會壓縮從吸入側輸送的氣體體積。活塞繼續旋轉時，將會通過出口法蘭排出壓縮氣體。每完整旋轉一圈，針對每兩個活塞重復執行此過程兩次。通過輸送室內的無接觸式運行，可以以較高轉速運行搖桿式活塞泵。

(D)接觸時間：待清洗材料在等離子體中的接觸時間對材料與等離子體的表面清洗效果影響很大。工作效率。接觸時間越長，附著力比較高的漆清洗效果越好，但工作效率越低。此外，長時間清潔會損壞材料表面。 (E)滲透率：與常壓等離子清洗工藝相比，清洗大型物體時會出現連續滲透的問題。因此，被清洗物與電極的相對運動越慢，清洗效果就越高，但如果太慢，工作效率就會變差，表面也會受到損傷。

經過等離子處理的元器件表面具有更高的表面能，附著力比較高的漆能夠實現其與塑封料的結合，減少塑封工藝技術中分層、針孔等現象的產生。2). 氬氣可形成氬離子，并可以利用材料表面生成的自偏壓對材料進行濺射，消除表面吸附的外來分子并能夠有效去除表面金屬氧化物 。在微電子打線前的進行等離子處理是一種比較典型的工藝。如經過等離子體處理后的焊盤表面，清除了有機污染物和氧化物，能夠有效提高打線和焊線時的可靠性，提高良率。。

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最重要的是，可以在任何時間進行第二次等離子體處理而不會使待處理的產品降解。這相對于使用可能損壞被處理材料的刺激性化學品的許多處理方法而言，優勢十分明顯。此外，真空等離子是當今最環保的深層清潔技術。沒有化學廢棄物，對員工或設施沒有危險，也沒有化學品購買或儲存，是一種簡單高效并且綠色環保的處理方法。 等離子體活化最常用于電子器件的制造，特別是電子傳感器和連接器。

在刻蝕和堆積進程中，資料表面與等離子體中原始的或新生產的組分產生反響，這意味著表面條件，如污染物、阻聚劑、阻檔層、氣體吸附等十分重要，會對進程動力及堆積的薄膜特性產生影響。 分子在等離子體中解離后變成高活性組分，然后這些活性組分再與有機化合物產生反響。氫原子既能夠連接到雙鍵上，也能夠從其他分子中抽離原子。在氧等離子體中，電離和解離能構成多種組分。別的，還能夠構成如O2（1△g）等亞穩態的組分。

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