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(3)由于在真空室內的電極和接地裝置之間施加了高頻電壓，劃格子檢查油漆附著力氣體被分解并通過輝光放電產生電離和等離子體。待處理的工件完全包裹在真空室內產生的等離子體中，開始清洗。通常，清潔過程持續幾十秒到幾分鐘。 (4)清洗后，切斷高頻電壓，排出氣體和汽化的污垢，同時將氣體吹入真空室，使氣壓升至1個大氣壓。。

等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場合產生的物質。等離子體清洗蝕刻產生等離子體的裝置是在密封的容器中設置兩個電極形成電磁場，檢查油漆附著力的裝置用真空泵實現一定程度的真空，隨著氣體越來越稀薄，分子之間的距離和分子或離子的自由運動距離越來越長。在磁場作用下，碰撞形成等離子體，同時會產生輝光。等離子體在電磁場中運動，轟擊被處理物體表面，從而達到表面處理、清洗和蝕刻的效果。

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　　2. 等離子體是由電子、離子、自由基、激發態分子和原子、基態分子和光子等組成，表面上看呈電中性，其實內部具有很強的電特性、化學特性和熱效應。

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2. 取決于等離子體的狀態： (1) 平衡等離子體：具有高氣壓且電子溫度和氣體溫度大致相等的等離子體。常壓下的電弧放電等離子體和高頻感應等離子體。 (2)非平衡等離子體：在低壓或常壓下，電子溫度遠高于氣體溫度。低壓直流輝光放電、高頻誘導輝光放電、大氣壓下DBD介質阻擋放電產生的冷等離子體等。。

300年sccm流動。

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