這個要具體看污垢的附著程度,吉林等離子除膠渣機視頻教程若是不太臟時可用低壓水槍混合洗潔精噴洗或用熱水混合洗潔精泡洗;若是污垢嚴重,用濃度為1:25的燒堿與熱水。特別注意:清洗后的電極要將其晾干后才可再次裝入并調試好才能使用。3、設備不運行時,應將系統(tǒng)進氣口蝶閥關閉,需要運行設備時再將其打開;設備運行1分鐘后開啟等離子電源按鈕,按順序3-5s依次打開。
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它的基本原理是在真空低氣壓下,ICP 射頻電源產生的射頻輸出到環(huán)形耦合線圈,以一定份額的混合刻蝕氣體經耦合輝光放電,產生高密度的等離子體,鄙人電極的RF 射頻作用下,這些等離子體對基片外表進行炮擊,基片圖形區(qū)域的半導體資料的化學鍵被打斷,與刻蝕氣體生成揮發(fā)性物質,以氣體形式脫離基片,從真空管路被抽走。 刻蝕機和光刻機的差異 刻蝕相對光刻要容易。
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關于大氣射流等離子體基本特性機理主要有等離子體激勵電源、等離子體產生裝置、放電特征分析、等離子體參數(shù)診斷及調控、放電穩(wěn)定性和均勻性等。
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