等離子加工設備的真空系統設計為了使大尺寸PCB進行低溫等離子加工，鐵件電鍍后噴粉沒附著力設計了一臺大型等離子加工設備。該設備具有真空度可調的真空系統、電極冷卻的供電系統、基于可編程控制器(PLC)和觸摸屏的控制系統。本文簡要介紹了大型等離子體加工設備的組成和工作方式，詳細闡述了真空系統的設計，包括真空泵組的選型計算和基于有限元的真空室結構優化設計。實踐證明，該設備具有產生視覺快、腔溫控制效果好等特點，已達到國內領先水平。

加熱到幾萬度后，鐵件電鍍后噴粉沒附著力就會變成物質的第四個條件--等離子體！無論是大氣（常壓）還是真空（低壓），在數據外修時都會引入工藝氣體，如無水無油的潔凈壓縮空氣，有一定純度要求的氮氣、氧氣、氬氣等。

由于歐美的發展戰略已轉向汽車電子、物聯網等毛利率較高的領域，電鍍后噴漆 附著力并逐步退出功率二極管業務，而臺灣廠商尋求穩定運行，但產能擴張相對保守。相比之下，中國大陸功率二極管具有較高的性價比，依托較強的成本控制能力在中低端品類逐步開放商場，接近中國龐大的下游商場，需求響應快，服務到位等經營優勢，因此在鄉鎮需求巨大，國內替代確認，產能繼續開放的發展戰略簡而言之，中國電力二極管預計將接受全球產能轉移的局面。

在交變電場的攪動下，鐵件電鍍后噴粉沒附著力區域內的氣體產生等離子體?；钚缘入x子體對被清洗物表面進行物理轟擊和化學反應，使被清洗物表面物質變成顆粒和氣態物質，抽真空排出，達到清洗目的。

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簡單來說，該自動清洗平臺是多片同時清洗，優點是設備成熟，容量大，而單片清洗設備是一塊清洗，優點是清洗精度高，背面、斜面和邊緣都可以有效清洗，同時避免晶圓之間的交叉污染。在45nm之前，自動清洗臺就可以滿足清洗要求，目前仍在使用;45以下的工藝節點依靠單片清洗設備來實現清洗精度要求。隨著工藝節點的不斷減少，單片晶圓清洗設備是當前可預見技術下未來清洗設備的主流。

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