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其反應可用下列方程描述：激發(包括轉動、振動和電子激發)： e+A2→A*2+e解離附著：e+A2→A- +A+ +e解離：e+A2→2A+e解離電離：e+A2→A+ +A+2e復合：e+A+ →A +hv重粒子間的非彈性碰撞反應：重粒子之間的非彈性碰撞發生在分子、原子、活性基團和離子之間，重粒子之間的反應可以分為離子-分子反應和活性基團-分子反應。

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一般情況下用于新材料表面改性或合成新材料的等離子體，廣東真空式等離子處理機生產廠家通常是由低氣壓放電產生的。按溫度分類：高溫等離子體和低溫等離子體 高溫等離子體是高于 00℃的等離子體，如聚變、太陽核心。高溫等離子體中的粒子溫度T> 108-109K，粒子有足夠的能量相互碰撞，達到了核聚變反應的條件。 低溫等離子體又分為熱等離子和冷等離子體兩種。